TQ6D-SP石英ノズルが業界をリードする理由

化学気相成長法（CVD）、原子層堆積法（ALD）、および高純度ガス供給システムにおいて、ノズルはガスの挙動と化学反応速度を制御する上で重要な構成要素です。これらの環境では通常、高温、腐食性の高いガス、そして厳しい純度要件が求められますが、このような条件下では金属製ノズルでは性能が不十分となることが少なくありません。

優れた物理化学的特性を持つTQ6D-SP石英ノズルは、半導体グレードの研究室やハイエンドの製造ラインにおいて、最も選ばれる製品となっています。

A. 金属汚染

半導体製造プロセスでは、微量の金属不純物（鉄、ニッケル、クロムなど）でもデバイスの故障を引き起こす可能性があります。ステンレス鋼製のノズルは、不動態化処理後であっても、酸性ガス流にさらされると金属イオンを放出することがあります。

B. 熱膨張による寸法不安定性

金属は熱膨張係数が高いため、1000℃の炉管内ではノズル開口部の直径がわずかに変化する可能性があります。これによりガス流場が変動し、薄膜の成膜が不均一になります。

C．頻繁な交換とダウンタイム（短い寿命）

セラミックノズルは耐熱性に優れているものの、靭性に欠け、熱衝撃を受けると脆性破壊を起こしやすい。ノズル交換のための頻繁なシステム停止は、生産効率に深刻な影響を与える。

TQ6D-SP石英ノズルの技術的利点

A. 高純度溶融石英

TQ6D-SPノズルは石英素材で製造されています。極めて低い水酸基（OH）含有量により、真空環境下でのガス放出率が低く抑えられ、揮発性不純物の混入を防ぎます。

B．優れた断熱性能（極めて低い熱膨張係数）

石英の熱膨張係数は約5.5×10⁻⁷/℃で、ステンレス鋼の熱膨張係数のほんの一部に過ぎません。つまり、TQ6D-SPの射出形状は、室温でも1100℃までの高温でも一定に保たれるということです。

このノズルは、研究室環境向けに特別に設計されており、以下の主要な利点を提供します。

耐高温性：高純度石英製で、最高1100℃の動作温度に耐えることができます。そのため、高温の炉管や反応チャンバーに直接挿入して噴霧することが可能です。このような条件下では、標準的な金属製やプラスチック製のノズルは溶けたり破損したりする可能性があります。

化学的純度：石英は優れた化学的安定性を持ち、噴霧工程における金属イオン汚染を効果的に防止します。これは、半導体や電池電極材料など、不純物に非常に敏感な材料を扱う研究において極めて重要です。

微細噴霧化：ノズル径わずか0.3mmで、ミクロンレベルの微粒化を実現します。精密シリンジポンプと組み合わせることで、液滴サイズと噴霧速度を正確に制御でき、均一なコーティングや粒子形成を可能にします。

優れた耐腐食性：フッ化水素酸と高温リン酸を除けば、石英はほとんどの酸、塩基、塩溶液に対して化学的に不活性であるため、幅広い腐食性化学試薬の噴霧に適している。

シンプルな構造と容易な統合：標準的な1/4"継手とPTFEチューブを備えているため、さまざまな実験室用ガス・液体処理システム（ガス・液体混合タンクや蠕動ポンプなど）に容易に統合できます。

メンテナンスと長寿命化に関する推奨事項

フッ化水素酸を避ける：フッ化水素酸（HF）は石英の最大の敵です。洗浄中はHFとの接触を厳禁してください。

表面の傷を防ぐ：石英は硬い素材ですが、脆い性質を持っています。表面に小さな傷がつくと、熱応力が集中する箇所となる可能性があります。取り扱いには、先端が柔らかい専用のピンセットのご使用をお勧めします。

失透防止：高温での長時間運転中は、ノズル表面に塩分が付着して石英の失透を引き起こすのを防ぐため、ノズルを定期的に清掃してください。

瀋陽科晶のTQ6D-SPを選ぶ理由とは？

当社では標準製品だけでなく、お客様の炉管寸法に合わせたオリフィス角度のカスタマイズも承っております。このような細部への徹底した配慮により、実験データの高い再現性を確保いたします。