真空ポンプ付プラズマクリーナー

PCE-6小型プラズマクリーナーのプラズマチャンバーは、Ø160mm×190mmの石英チャンバーです。使用する RF 電力は 3.0MHz (1%) で、出力電力は 7.2W、10.2W、29.6W の 3 段階で調整可能です。この装置は、主に空気、酸素またはアルゴンおよびその他のガスのプラズマによって基板上の酸化層および汚染物質を除去し、物体の表面の特性 (親水性および疎水性など) を変更することもできます。

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高RF電源付きプラズマクリーナー

PCE-6V 小型プラズマ クリーナーは、RF プラズマ生成技術、コンピューター制御技術、ソフトウェア プログラミング技術を統合し、ガスを洗浄媒体として使用することで、液体洗浄媒体による二次汚染を効果的に回避します。PCE-6V 小型プラズマクリーナーの試料ステージには加熱機能が搭載されており、試料のプラズマエッチングに負のバイアス電圧を印加することができます。さらに、特定の条件下で必要に応じて、特定の材料表面の特性を変更できます。

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大気圧プラズマジェットフローシステム（プラズマペン）

GSL-1100X-PJF-(A)プラズマ表面処理装置は、表面処理用のコンパクトな大気圧プラズマジェットフローシステムで、主に高周波発生器とプラズマビームヘッドで構成されています。ジェット フロー プラズマ ビームは、低温および非真空条件下で、材料 (単一ウェーハ、光学部品、プラスチックなど) の表面を活性化し、洗浄することができます。

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自動スキャンシステムによる大気圧プラズマビーム

GSL-1100X-PJF-A プラズマ表面処理装置は、表面処理用のコンパクトな大気圧プラズマ ジェット フロー システムであり、主に高周波発生器とプラズマ ビーム ヘッドで構成されています。ジェット フロー プラズマ ビームは、低温および非真空条件下で材料 (単一ウェーハ、光学部品、プラスチックなど) の表面を活性化および洗浄でき、洗浄速度は高速です。

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