真空ポンプ付きプラズマクリーナー
ブランド Shenyang Kejing
製品の産地 瀋陽、中国
納入時間 10営業日
供給能力 50セット
PCE-6小型プラズマクリーナーのプラズマチャンバーは、Ø160mm×190mmの石英チャンバーです。使用するRF電力は3.0MHz（1％）で、出力電力は7.2W、10.2W、29.6Wの3段階で調整可能です。この機械は主に空気、酸素、アルゴンなどのガスのプラズマを通じて基板上の酸化膜や汚染物質を除去し、物体の表面特性（親水性、疎水性など）を変えることもできます。
主な特徴
1. コントロールパネルのボタンとスイッチを介して、無線周波数 電力、真空ポンプの開閉、およびクリーニング時間を制御および調整できます。
2. 時間、電力、真空度などの情報が 4 つのデジタル チューブに表示されます。
3. 三方弁を装備しており、吸入空気量を正確に制御し、大気でチャンバーを洗浄できます。吸入インターフェースは 6mm カードスリーブ インターフェースです。
4. プラズマエッチングおよびアッシング実験を実行するために、大出力 無線周波数 電源装置が選択されます。
T技術的パラメータ
商品名 | PCE-6 小型プラズマクリーナー |
製品モデル | PCE-6 |
主なパラメータ （仕様） | 1.電源：AC220V 50/60Hz 2.出力：7.2W、10.2W、29.6W 3. 真空ポンプ電力: <500W 4. 総電力: <600W 5. RF周波数: 3.0MHz、電力は3段階で手動で調整可能 6. プラズマチャンバー：Ø160mm×190mmの高純度石英チャンバー、フランジにØ45mmの観察窓を備えたアルミ折り畳みフランジで密閉 7. 真空ポンプ：120L/分、直結二段回転真空ポンプ 8. 到達真空度: 50mtorr 9. ガス導入：プラズマを生成するために、Nなどのさまざまなガスを導入することができます。2、アル、H2、O2、空気、および混合ガス（材料特性に応じて選択）による洗浄およびエッチング |
製品の寸法と重量 | 寸法: 400mm×300mm×300mm で八：10.2kg
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オプションのアクセサリ&注意; &注意;&注意; | 1. 2"-6"石英ボート/キャリア（基板保持用） 2. 2～4チャンネルプロトンまたはフロートガス混合システム |
保証
&注意;&注意;&注意;&注意;1 年間限定の永久サポート（不適切な保管条件による錆びた部品は除く）
ロジスティクス
