1100℃大型管状炉（6インチ/8.5インチ/11インチ）
1. 大口径処理室：
電気管状炉は、大型サンプル、パイロットスケール研究、半導体ウェハ処理向けに、6インチ、8.5インチ、11インチの石英管が用意されています。
2. 独立した複数ゾーン温度制御：
電気管状炉は、オプションでシングルゾーン、デュアルゾーン、トリプルゾーンの加熱方式を選択でき、要求の厳しい熱処理プロセスにおいて優れた温度均一性を実現します。
- Shenyang Kejing
- 中国瀋陽市
- 10営業日
- 50セット
- 情報
高温実験炉の概要
この大口径管状炉は、標準的な50mmまたは80mm管状炉よりも大きな内部容積を必要とする研究所やパイロットスケールの研究チーム向けに設計されています。石英管環境下での材料焼結、アニーリング、拡散、および制御雰囲気熱処理をサポートします。高温実験炉必要な温度均一性やプロセスプロファイルに応じて、シングルゾーン、デュアルゾーン、またはスリーゾーンシステムとして構成できます。
大口径高温実験炉は、大型サンプル、石英ボート、ウェハー関連の研究、セラミック部品、粉末バッチ、金属部品、およびサンプルサイズと加熱時間が重要な選択要因となるスケールアップ実験に特に適しています。
高温実験炉のコアの利点
大型チューブのオプション：Φ6インチ×1020mm、Φ8.5インチ×1020mm、またはΦ11インチ×1020mm。
チューブ両端にヒンジ付きのステンレス鋼製シールフランジを装備し、操作性を向上させています。
右側の水冷フランジには、ベローズ、ポンプ、およびKF40バッフルバルブに接続するためのKF40真空ポートが備わっています。
加熱効率と耐用年数を向上させるため、高温アルミナコーティングを施した高純度アルミナ繊維チャンバーを採用。
マルチゾーンモデルでは、各ゾーンごとに独立した温度制御が可能です。
高温実験炉の推奨用途
ウェハーのアニーリングおよび拡散実験
大型セラミック試料の焼結
電池材料のスケールアップ研究
粉末冶金熱処理
保護雰囲気焼鈍
大型サンプルの真空熱処理
炉本体と大型チューブ設計
本炉は、空冷システムを備えた二重構造のシェルを採用しています。アルミナ製のチューブプラグが2個付属しており、使用時にはチューブの両端に挿入することで、一定温度ゾーンの維持とシール性能の保護に役立ちます。高純度アルミナ繊維製の炉室はエネルギー損失を低減し、コーティングされた炉内張りは加熱効率を向上させ、炉室の寿命を延ばします。
元の仕様によると、この炉は焼鈍炉または拡散炉として使用でき、適切なチューブと石英ボートの構成を選択すれば、対応する石英ボート上に最大8インチのウェハーを配置できる。
シールフランジと真空接続
右側の水冷フランジにはKF40真空ポートが備わっており、KF40ベローズ、ポンプ、KF40バッフルバルブとの接続が容易です。ポンプがKF25インターフェースを使用する場合は、KF40-KF25変換アダプタが必要です。オプションで、装甲熱電対、補償線、温度計を含む温度測定セットを追加して、チューブ内部の温度を測定できます。
温度制御システム
本炉には、PID自動温度制御機能を備えたYD858温度コントローラーと、30セグメントのプログラム可能なプロセスが搭載されています。制御精度は±1℃です。各加熱ゾーンは独立した温度制御システムを備えているため、必要なプロセスプロファイルに応じて、シングルゾーン、デュアルゾーン、トリプルゾーンの各モデルを選択できます。
技術仕様
| 製品名 | 管状炉 GSL-1100X-I/II/III-6”/8.5”/11”-S |
|---|---|
| モデル | GSL-1100X-I/II/III-6”/8.5”/11”-S |
| 電源 | AC 220V、50Hz |
| 力 | 8kW |
| 温度 | 動作温度1000℃、1時間未満の場合は1100℃ |
| 推奨暖房速度 | ≤10℃/分 |
| 熱電対 | デュアルKタイプ。片方は温度スキャナーとして使用されます。 |
| 発熱体 | モリブデン添加鉄クロムアルミニウム合金 |
| 加熱ゾーンの長さ | シングルゾーン：900 mm、デュアルゾーン：450 + 450 mm、スリーゾーン：200 + 200 + 200 mm |
| チューブサイズ | Φ6インチ×1020mm / Φ8.5インチ×1020mm / Φ11インチ×1020mm |
| シールフランジ | 右側水冷フランジ、KF40真空ポート付き |
| 温度コントローラー | YD858コントローラ、PID自動制御、30セグメントプログラマブル制御 |
| 制御精度 | ±1℃ |
| PC接続 | デフォルトのDB9 PC通信ポート |
| 認証ノート | 仕様書に記載されているMET認定コントローラー/システムリファレンス |
| 真空システム | オプションのデュアルロータリーベーンメカニカルポンプは10まで到達可能-2トール; オプションの国産または輸入高真空システムは10に達する-5トール以上。 マルチ真空 |
| オプションのウォーターチラー | CW-5000; コンプレッサー出力 0.3 kW; 流量 16 L/分; タンク容量 6 L; 温度制御 5～30℃ |
| 寸法 | 1880 mm（長さ）× 700 mm（幅）× 930 mm（高さ） |
| 重さ | 約200kg |
| 保証 | 1年間の保証と生涯メンテナンス付き。発熱体、石英管、サンプルるつぼなどの消耗品は含まれません。 |
| コンプライアンス | CE認証、UL認証、またはCSA認証は追加料金で取得可能です。 |
オプションの真空および冷却システム
標準的な真空用途では、デュアルロータリーベーンメカニカルポンプは約10まで到達できます。-2トール。より高い真空度が必要な場合は、10に達する国産または輸入の高真空システムを選択できます。-5Torr以上の圧力。水冷フランジ運転が必要な場合は、CW-5000水冷システムが利用可能です。
選定ガイド：6インチ、8.5インチ、または11インチの管状炉
| チューブサイズ | 推奨される使用方法 |
|---|---|
| 6インチ管状炉 | 大型実験室試料、石英ボートを用いた処理、制御雰囲気焼結、および中量規模の研究用バッチ。 |
| 8.5インチ管状炉 | ウェハ関連の実験、大型セラミックス、幅広のボート、およびより広い内部空間を必要とする研究プロセス。 |
| 11インチ管状炉 | 大型試料の処理、パイロットスケールでの熱研究、および管径が主な選択要因となる実験。 |
安全に関する注意事項
石英管内の圧力は、相対圧力0.02MPaを超えてはなりません。ボンベから石英管にガスを導入する場合は、減圧弁を取り付ける必要があります。より安全な操作のためには、0.02MPa以下の圧力が推奨されます。
元の仕様では、試料加熱中に吸気弁と排気弁の両方を閉じることは推奨されていません。プロセスで弁を閉じる必要がある場合は、圧力計を常に監視する必要があります。指示圧力が0.02 MPaを超えた場合は、管の破裂やフランジの飛び出しなどの事故を防ぐため、直ちにベント弁を開ける必要があります。
よくある質問
どのようなサイズのチューブが利用可能ですか？
この炉は、Φ6インチ×1020mm、Φ8.5インチ×1020mm、およびΦ11インチ×1020mmのチューブオプションで利用可能です。
最高気温は何度ですか？
動作温度は1000℃で、炉は1時間未満で1100℃に達することができる。
複数の暖房ゾーンを設定することは可能ですか？
はい。シングルゾーン、デュアルゾーン、トリプルゾーンの暖房構成をご用意しております。暖房ゾーンの長さはそれぞれ900mm、450+450mm、200+200+200mmです。
どのような真空インターフェースを使用していますか？
右側の水冷フランジはKF40真空ポートを使用します。KF25ポンプインターフェースに接続する場合は、KF40-KF25変換アダプタが必要です。
水冷はオプションですか？
はい。オプションのCW-5000チラーは、0.3kWのコンプレッサー、16L/分の流量、6Lのタンク容量、5～30℃の温度制御範囲を備えています。
当社には自社研究所があり、そこでサンプル検査を実施できます。最終結果がお客様のご期待に沿う場合にのみ、ご購入手続きを進めていただけます。ただし、当社は99%の確率でご期待に沿えると確信しております。
