耐腐食スピンコーター (6K 回転数 &アンプ; 6インチウェーハ最大)

ブランド Shenyang Kejing

製品の産地瀋陽、中国

納入時間 10営業日

供給能力 50セット

VCTC の-200P 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。チャンバーの上部カバーはサンプルを加熱することができ (オプション機能)、高粘度の薄膜材料のコーティングプロセスに役立ちます。

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耐腐食スピンコーター (6K 回転数 &アンプ; 6インチウェーハ最大)

主な特徴

1. 装置は12セットのプログラムを保存でき、各セットには6つの実行ステージが含まれています。各ステージの加速と減速の設定範囲：100rpm / s〜2000rpm / s、各ステージの時間範囲：0〜60秒

2.サンプルは真空吸着によって固定されるため、操作が簡単です。

3. 真空度は-0.08MPaまで達します。

4. 位置決めツールを使用してサンプルを簡単に中央に配置することができ、位置ずれによる振動や飛び出しを軽減できます。

5. サンプルの仕様に応じて異なるチャックを使用でき、交換も便利で簡単です。

6. 24VブラシレスDCモーターを採用しており、信頼性が高く、適応性が強く、修理とメンテナンスが簡単で、騒音が少なく、振動が小さく、動作が安定しており、起動が速く安定しており、加速後の動作が安定しており、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できるなどの利点があります。

7. 本機はグローブボックス内で使用できますが、制御部と真空ポンプはグローブボックスの外側に設置する必要があります。

8.コーティングは不活性ガス雰囲気（アル、N2など）で行うことができます。

9. オイルレス平行棒真空ポンプは、小型、構造が簡単、操作が簡単、メンテナンスが便利、環境汚染がないなどの利点があります。

10. チャンバーは、耐化学腐食性と優れた応力亀裂性を向上させるために、より長い耐用年数を持つ PP 材料で作られており、機械本体は耐久性があり軽量な鋳造アルミニウム構造を採用しています。

11. 英語版オペレーティングシステム

12. カバーオープン保護機能があり、コーティング工程中またはコーティング終了時にトップカバーが開かれると、機械は直ちに急減速して停止します。

13. コントローラーは、より直感的で信頼性の高い液晶数値ディスプレイを備えた単一のコントロールボックスを採用しています。

T技術的パラメータ

商品名	VCTC の-200P 真空スピンコーター
製品モデル	VCTC の-200P
設置条件	この装置は、標高1000m以下、温度25℃±15℃、湿度55%右±10%Rhの範囲内で使用する必要があります。 1. 水：給水口と排水口を装備 2. 電気: AC220V 50Hz、良好な接地が必要 3. ガス: 該当なし 4. 作業台：サイズ600mm×600mm×700mm、耐荷重50kg以上 5. 換気装置：必要
主なパラメータ（仕様）	1. 電源: 220V 50HZ 2. モーター出力: 360W/24V 3. 速度範囲: 500rpm-6000rpm調整可能 4. プログラム操作：12 グループのプログラムを保存でき、各グループには 6 つの実行ステージが含まれます。 5.各段階の加速および減速率の設定範囲：100rpm/s〜2000rpm/s、各段階の時間範囲：0〜60秒。 6.チャックサイズ：φ100mm 7. 機械には加熱機能を装備することができます。 &注意; &注意;* 加熱範囲: RT-100℃ &注意; &注意;※上部カバーとシンク・水タンクはPP製です。 &注意; &注意;* 温度はホストプログラムの制御とは関係のない独立したコントローラを使用します
製品の寸法と重量	寸法：φ250mm×360mm 重さ：20kg

ス標準アクセサリー

いいえ。	名前	数量	写真
1	真空チャック（φ100mm）	1個
2	Oリング	1個	-
3	中央ポジショナー/ロケーター（位置決めスタッド 4 個を含む）	1個
4	エポキシインジェクター/シリンジ（20ml）	1個
5	インジェクター/シリンジブラケット	1個	-
6	オイルレス真空ポンプ	1個

○オプションアクセサリ

いいえ。	名前	機能型	写真
1	その他の仕様の真空チャック	（オプション）
2	ピペット（中国製）	（オプション）
3	ピペット（輸入品）	（オプション）