化学機械研磨機

ブランド Shenyang Kejing

製品の産地瀋陽、中国

納入時間 22営業日

供給能力 50セット

ユニポール-1203化学機械研削研磨機は、CMP平坦化および平滑化技術に適しています。機械全体の研削部分は耐腐食性材料で作られており、化学腐食に耐性があり、自動スラリーフィーダーと精密ラッピングコントローラー、自動タッチスクリーンパネルが装備されています。処理性能と速度の両方の面で、ウェーハなどのさまざまな表面を処理するニーズを同時に満たすことができます。

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化学機械研磨機

主な特徴

1. 超平坦ステンレス研磨板（25mm×25mmあたり0.0025mm以下の平坦度）

2. 超精密回転スピンドル（パレット端面の飛び出しは0.01mm以下）

3. 2つの加工ワークステーションを装備し、個別に制御可能

4.スピンドル速度、スイングアーム速度、ラッピング時間を設定できる全自動制御タッチスクリーンパネルを装備

5. 自動スラリー供給装置、流量の視覚的調整、自動研削および研磨を装備

6. ジーピーシー-100A精密ラッピングコントローラを搭載しており、圧力を調整して表面形状を整えることができるため、研削と研磨がより便利で高速になります。

7. 研削部分は耐腐食性材料で作られており、化学的腐食に耐性があります。

技術的パラメータ

商品名	ユニポール-1203 化学機械研削研磨機/ラッピングマシン
製品モデル	ユニポール-1203
設置条件	この装置は、標高1000m以下、温度25℃±15℃、湿度55%右±10%Rhの範囲内で使用する必要があります。 1. 水：機器には給水口と排水口が装備されており、ユーザーが水道水と排水に接続する必要があります。 2. 電気: AC220V 50Hz、良好な接地が必要 3. ガス: 該当なし 4. 作業台：サイズ800mm×600mm×700mm、耐荷重200kg以上 5. 換気装置：不要
主なパラメータ（仕様）	機械の主要部分
	1. 電源: 220V 2. 電力: 450W 3.ラッピングプレート&注意;速度: 10-240rpm 4.ラッピング仕事駅数: 2 5. スイングアーム調整装備: 1-15ギア 6.パレット&注意;ジャンプ終了: 0.008/250mm 7. ステンレスラッピングプレート: φ300mm 8. サンプル保持&注意;皿: φ105mm 9.状態&注意;リング：φ127.5mm
	ジーピーシー-100A 精密ラッピングコントローラ
	1. サンプルプレートの直径: Ø103mm 2. 軸l旅行距離サンプルプレート: 12mm 3. デジタル表示精度：0.001mm 4. サンプルの負荷圧力を調整可能皿: 0.1kg～2.1kg 5. 有効範囲圧力確認装置: 1g-5000g 6. サンプルインストール&注意;方法：真空吸着 7.サンプルのサイズ：直径≤103mm、厚さ≤12mm 8.サイズ：外径146mm、高さ266mm
	自動スラリー供給装置
	SKZD-2 ローラースラリーフィーダー 1. 容量: 1.5L 2. 流量: 0〜35ml/分 3. サイズ：170×290×350mm 重量: 3kg SKZD-4 オートマチックスラリーフィーダー 1. 液体給餌ポンプ: 4 2.スラリー&注意;ボトル: 600ml/ボトル 3. タイミング範囲: 1〜999分 4. 流量: 0.1ml/分～10ml/分 5. サイズ：230×370×450mm &注意; &注意;重量: 10kg
製品の寸法と重量	1. 寸法：550mm×700mm×420mm 2.&注意;で8: 74kg

標準付属品

いいえ。	名前	数量	写真
1	鋳鉄製研削盤（Ф300mm）	1個
2	ステンレス製研削盤（Ф300mm）	1個
3	サンプル保持プレート（セラミック）	1個
4	コンディションリング（セラミック）	1個
5	研磨パッド（ヌバックレザー、合成皮革、ポリウレタン）	各1個
6	マグネットシート（裏面粘着剤付き）	2個
7	（スチール）ラッピングバッファーシート	2個
8	コランダム粉砕粉末	0.5kg
9	何かを学ぶ	4個
10	シリカサスペンション研磨液 2040 W0.05	1本

オプションのアクセサリ

いいえ。	名前	機能型	写真
1	翻訳-12 撹拌循環ポンプ	（オプション）
2	精密厚さ計	（オプション）
3	セラミック研磨プレート	（オプション）
4	ガラス研磨プレート	（オプション）
5	磁性樹脂ダイヤモンド研磨シート	（オプション）