連続マルチチャンバー蒸着コーティングシステム

蒸発真空コーティング機の紹介： 

一般用医薬品-1800X-ZF-AM連続蒸着コーティング装置は、高真空・連続サンプル注入方式のプロ仕様蒸着コーティング装置です。本装置は、搬送室と蒸着コーティング室を備えたマルチチャンバー構造設計を採用し、安定した真空環境下での連続サンプル搬送と自動コーティング操作を可能にします。基板ホルダーは2つのチャンバー間を往復し、周波数変調モーター駆動による全自動同期運転を実現します。本装置の往復位置と速度は設定可能で、デュアルチャンバー位置決め機能と原点リセット機能を備えており、実験効率とコーティング再現性を大幅に向上させます。

連続蒸着コーティング装置は、酸素に敏感な金属材料（ティ、アル、Auなど）および低分子有機材料の蒸着コーティングに特に適しています。熱蒸着真空コーティングシステムは、独立制御可能な4つの蒸着加熱ボートを備えており、それぞれが独立した蒸着プロセスを実行できます。各加熱ボートの上部には回転式バッフル構造が備わっており、単一ボート運転時に他のボートを効果的に遮断し、蒸着材料のクロスコンタミネーションを防ぎ、膜の純度を確保します。

熱蒸着真空コーティングシステムは、構成を変更することで、様々な有機材料の蒸着コーティングにも対応可能であり、OLED発光デバイスや有機太陽電池（OPV）などの先端材料の研究に最適です。チャンバー底部には5つの水冷電極が配置されており、高温蒸着中に電極を継続的に保護することで、熱溶融による損傷を防ぎ、システムの耐久性と安定性を向上させます。

一般用医薬品-1800X-ZF-AM熱蒸着真空コーティングシステムは、信頼性の高い金属製真空チャンバーを採用し、最大システム真空度5.0×10⁻⁷ Torrを実現します。サンプルステージはサンプルを加熱（室温～500℃）し、安定した制御可能な熱環境を提供することで、高品質の薄膜堆積を実現します。高い真空性能、プロセスの柔軟性、そして優れたコストパフォーマンスを備えたこの熱蒸着真空コーティングシステムは、高真空蒸着コーティング研究を行う研究機関や研究所にとって理想的な選択肢です。

蒸発真空コーティング機の利点：

· 連続蒸発コーティング機のマルチチャンバー設計：トランスファーチャンバーと蒸発コーティングチャンバーで構成され、迅速かつ連続的なサンプル蒸発コーティングを可能にします。

・集中真空制御管理：真空ユニットは統合制御ボックスに統合されており、簡単に操作できます。

· 独立した蒸発電流制御：蒸発速度の正確な調整を可能にします。

· チャンバーには、KF40 バイパス バルブ 1 個 (ポンプ効率を向上させるためにフォアポンプに直接接続)、CF150 ゲート バルブ 1 個 (分子ポンプに直接接続)、KF16 フランジ 1 個 (抵抗ゲージを取り付けるため)、および CF35 フランジ 6 個 (イオン化ゲージ用 1 個、2 ピン電極用 1 個、膜厚ゲージ用 1 個、予備インターフェイス 3 個) が装備されています。

· 高効率水冷システム：チャンバーの底部に 5 つの水冷電極が配置され、4 つの蒸着加熱ボートを同時にサポートします。

· 蒸発真空コーティング機のサンプルステージは、設置と操作が簡単なトップマウント設計を採用しています。

· オプションの高解像度膜厚計：アルミニウム膜厚測定精度は最大 0.1 Å。

· 蒸発真空コーティング機には循環水チラーを装備することができ、長期にわたる動作安定性を確保します。

蒸発真空コーティング機の技術的パラメータ：

私たちについて：

科学研究市場に特化した企業として、当社の顧客は主に大学、科学研究機関、研究所です。革新的な技術、顧客重視、そして専門的で効率的な科学研究サービスの提供を通じて社会に貢献することを常に約束します。私たちの目標は、科学研究機器分野において、信頼され、尊敬され、国際的な影響力と競争力を持つリーダーとなることです。