EQ-TM106 膜厚計

フィルム作製厚さモニターの紹介：

EQ-TM106膜厚モニターは、水晶振動子の原理と高度な周波数測定技術を組み合わせることで、膜厚をリアルタイムかつその場でモニタリングします。主にMBE、OLED熱蒸着、マグネトロンスパッタリング装置などの薄膜成膜プロセスにおいて、膜厚と成膜速度の両方を連続的にモニタリングするために使用されます。

EQ-TM106モニターは、薄膜のリアルタイム成膜速度に基づいて、PWM（パルス幅変調）アナログ出力信号を生成します。専用の膜厚センサーとして機能し、外部コントローラーや蒸着電源と統合することで、蒸着源のクローズドループ制御を可能にし、成膜された膜の厚さを正確に測定できます。

EQ-TM106膜厚モニターは、実験室のスペースを節約できるコンパクトな設計が特長です。さらに、シンプルな動作原理と使いやすいインターフェースにより、実験室規模の薄膜成膜用途に特に適しています。

製品の技術仕様：

薄膜堆積モニターの主な特長：

1. このユニットはコンピュータに接続できます。

2. ディスプレイユニットは、すっきりとした直感的で整理されたインターフェースを備えており、便利で迅速な操作が可能です。測定された膜厚、成膜速度、周波数、PWM制御出力の割合など、動作パラメータをリアルタイムで視覚的に表示します。

3. ソフトウェアまたはディスプレイユニットを介して、ユーザーはゲート時間、出力モード、レートアルゴリズム、材料パラメータ、出力範囲、通信パラメータなどのさまざまな設定を構成し、関連する測定データをExcelファイルに直接エクスポートできます。

4. このデバイスは、コンパクトなサイズ、高い測定精度、簡単な操作性、そしてユーザーフレンドリーな利便性を誇ります。

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