100℃加熱カバー付き高速スピンコーター

VTC-100PA-I真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。強酸および強アルカリのコーティング溶液にも使用できます。本装置は、サンプルのサイズに合わせてサイズが異なる2つの真空チャック（標準）を備えています。本装置は12セットのプログラムを保存でき、各セットには6つの実行ステージが含まれています。

ブランド: Shenyang Kejing
製品の産地: 瀋陽、中国
納入時間: 10営業日
供給能力: 50セット

情報

製品紹介
VTC-100PA-I真空スピンコーターは、半導体、結晶、光ディスク、フォトリソグラフィーなどの表面コーティングプロセス向けに設計されています。強酸または強アルカリ溶液を用いたコーティングの準備に適しています。本システムにはサイズの異なる2つの真空チャックが標準装備されており、サンプルのサイズに応じて適切なチャックを選択できます。

動作中、試料は真空チャックによって試料ステージ上にしっかりと固定されます。VTC-100PA-Iは最大12個のプログラムを保存でき、各プログラムは6つの連続ステップで構成されています。回転速度はステージごとに異なり、装置は徐々に最高速度まで上昇します。これにより、試料表面への均一な薄膜形成が保証され、材料の無駄を最小限に抑え、効率が向上します。

VTC-100PA-Iは、操作が簡単で清掃も容易、コンパクトな設計を特徴としており、大学や研究機関の薄膜堆積プロセス実験室で広く利用されています。

主な特徴

1.サンプルは真空吸着によって固定されるため、操作が簡単です。

2.真空度は-0.08MPaまで達します。

3. 位置決めツールを使用してサンプルを簡単に中央に配置することができ、位置ずれによる振動や飛び出しを軽減できます。

4. サンプルの仕様に応じて異なるチャックを使用でき、交換が便利で簡単です。

5. 24VブラシレスDCモーターを採用しており、信頼性が高く、適応性が強く、修理とメンテナンスが簡単で、騒音が少なく、振動が小さく、動作が安定しており、起動が速く安定しており、加速後の動作が安定しており、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できるなどの利点があります。

6. オイルレス平行棒真空ポンプは、小型、構造が簡単、操作が簡単、メンテナンスが便利、環境汚染がないなどの利点があります。

7. チャンバーは、耐化学腐食性と耐応力亀裂性に優れた長寿命のポリプロピレン素材で作られており、機械本体は耐久性があり軽量な鋳造アルミニウム構造を採用しています。

8.コーティングは不活性ガス雰囲気（Ar、N2など）で行うことができます。

9. 英語のオペレーティングシステム

10. カバーオープン保護機能を搭載しています。コーティング工程中またはコーティング終了時にトップカバーが開かれると、機械は直ちに急減速して停止します。

11. 制御インターフェースはタッチスクリーンとシングルボードコンピュータ制御システムを採用しており、数値表示はより直感的で信頼性が高いです。

T技術的パラメータ

製品名	VTC-100PA-I 真空スピンコーター
製品モデル	VTC-100PA-I
設置条件	1. 温度および湿度: 10～85%RH (25°C、結露なし)、動作温度: 0～45°C。 2. 環境: 強い振動源や腐食性ガスがない。 3.水：排水口を装備しています。 4.電源：単相AC220V 50Hz 10A。 5. ガス: 排気速度 ≥ 70 L/min の真空 (負圧)。システムは保護用不活性ガス (Ar、N₂ など) に接続することもできます。 6. 作業台：推奨サイズ 800 mm × 600 mm × 700 mm、耐荷重 ≥ 50 kg（頑丈なコンクリート製のテーブルが望ましい）。 7. 換気: 特別な要件はありません。
主なパラメータ（仕様）	1. 電源インターフェース: · 本体：AC220V 50Hz 10A · ヒーター：AC220V 50Hz 10A 2. 総消費電力:≤1150W (外部真空ポンプを除く) 3.コーティングチャンバー（材質）：ポリプロピレン 4. サンプルホルダー（真空チャック）：PTFE真空チャック、Ø19 mmおよびØ60 mm（各1個） 5. 動作モード: 最大12のプログラム可能なレシピ。各レシピには6つの連続した段階が含まれます。 6. 回転速度範囲: 500～10,000 rpm (実効) 7. 加速/減速率: 100 rpmから2000 rpmまで段階的に調整可能 8. コーティング時間: 1段階あたり0～60秒 9. 速度安定性: ±1% 10. 制御システム: キーパッド制御とLMC LCDディスプレイを備えたPCBマイクロコントローラ 11.加熱方式：独立した炭素繊維加熱管システム（本体制御とは別） 12.加熱温度範囲：室温～100℃ 13. 加熱電力: AC220V、1000W 14. 温度制御精度: ±2°C
	15.製品仕様： · 寸法：450mm×340mm×280mm ・重量：20kg

S標準アクセサリー

いいえ。	名前	数量	写真
1	真空チャック（Oリングを含む）（Ø19mm そしてØ60mm）	2個
2	中央ポジショナー/ロケーター（位置決めスタッド4個を含む）	1個
3	エポキシインジェクター/シリンジ（20ml）	1個
4	インジェクター/シリンジブラケット	1個	-
5	オイルレス真空ポンプ	1個
6	ゴムパイプ（クランプ含む）	1個	-

ザオプションアクセサリ

いいえ。	名前	機能型	写真
1	その他の仕様の真空チャック	（オプション）
2	ピペット（中国製）	（オプション）
3	ピペット（輸入品）	（オプション）