ペロブスカイト太陽電池用高真空スプレー熱分解コーター

a. 三相 5 線式システム。5 線式: 380 VA (+/-5%)、50 ヘルツ、活線 3 本、アース線 1 本、中性線 1 本。最大電力 8KW、最大電流 32A。

b. さらに、独立したシェル接地線が必要です。

2. 水:

流量15〜20リットル/分、15〜25℃、水入口と水出口の圧力差1〜2kg、水入口圧力2〜3kg、機器の水入口と水出口の外径は12mm（より良いゴム製給水管の使用をお勧めします）。機器の水入口の前にボールバルブを取り付けることをお勧めします。これにより、水圧と水の流れを簡単に調整できます。

3. ガス:

a. 圧縮空気：乾燥した、清潔な、水分や油分を含まない圧縮空気、8mmプラスチック製エアパイプ、圧力5.5～6

kg（0.55-0.6MPA）。

b. 通常の窒素：乾燥窒素。装置室内の真空を破るために使用されます。8mmプラスチックエアパイプ、圧力1〜2kg（0.1〜0.2MPA）。

1. 真空専用の304ステンレス鋼チャンバー、内部電解研磨、真空チャンバーの直径は幅約400mm、奥行き約400mm、高さ約450mm、前後に垂直のドア構造を備えています。

2. フロントドアレールは輸入されたダブルレール設計を採用し、より調和のとれた外観と手動ロックを備えています。リアドアは手動ヒンジ構造を採用しており、締め付けと密閉が簡単です。システムは、分解と取り付けが簡単なマルチピース構造のステンレススチールライナーを提供します。真空チャンバーの内外面は研磨されています。チャンバーには、照明や膜厚計などの機器インターフェースが装備されています。

3. 真空チャンバーの左側はメインバルブと分子ポンプ、真空測定インターフェースに接続されています。上部には回転式水冷サンプルステージ、サンプルステージバッフル、膜厚計プローブインターフェースが装備されています。底板には2組の金属蒸発電極、4組の有機源、および2つの膜厚計プローブ取り付けポートが装備されています。

4. ガラス観察窓付きの前面ドアと背面ドア：真空チャンバーの前面ドアにバッフル付きの直径 4 インチの観察窓が 1 つあり、防汚ガラスが装備されています。背面ドアの 2 つの小さな観察窓はそれぞれソースとサンプルを観察し、防汚ガラスが装備されています。

Ⅱ. 蒸発源：金属蒸発源と非金属蒸発源の両方を装備

Ⅲ. 完全な警報システム：水不足と低電圧の検知と保護、位相シーケンスの検知と保護、温度の検知と保護、真空システムの検知と保護。水不足、過電流、過電圧、ポンプと電極の回路破損などの異常状態を警報し、対応する保護措置を実施します。完全なロジックプログラム連動保護システム。

IV. 制御方法:

パナソニックPLC+タッチスクリーン手動自動制御。速度と最終厚さを入力でき、PID調整により蒸発電力出力を自動的に制御します。制御内容：機械式ポンプ、分子ポンプ、空気圧、電磁弁、真空計など。自動真空引き、自動コーティング、自動排気など。

完全なインターロック保護（ハードウェア、ソフトウェアインターロック）により、手動および自動モードでは、機器は完全なインターロック保護下にあり、人と機器の安全を確保します。また、システムには水流検知警報装置が装備されています。

V. 構造上の特徴: システムにはユニバーサルホイールと脚が付いており、簡単に移動できます。(図を参照)

私たちは。詳細：

機械式ポンプの前に分子ふるいを設置し、排気口にフィルターやシャッターなどの保護部品を設置し、ガス経路はほこりが入らないように設計し、有機源は内部に独立して設置されています。

すべてのサンプルステージ、ソースバッフル、およびサンプルステージ回転は磁性流体で密封されており、システムの長期安定性を確保します。

リレー、端子台、水道管・ガス管継手、電磁弁などの小物部品もすべて高品質な純正品です。

1. 真空システム：

中科科技グリース潤滑分子ポンプ FF-200/1300 口径を使用、排気速度: 1300 L/S + フェイユエ VRD-16 機械式ポンプ真空システム、8 インチ空気圧フラッパー バルブ、真空測定: 低真空ゲージ 1 台と高真空ゲージ 1 台 (範囲: 大気圧から 3E-9torr)、低真空測定と高真空測定の自動制御切り替え。真空測定値はプロセス制御のために ＰＬＣ に入力されます。

真空バルブ：モデル：DN40mmフラッパーバルブ2セット、中科 キーイ DN200空気圧メインバルブ1セット。

真空シール: 取り外し可能な静的シールはフッ素ゴムリングで密封され、頻繁に分解されない静的シールは無酸素銅で密封されます。

2. 真空限界:

2.0×10-5Pa以上。漏れ率：5×10－8Pa*L/S以上（国家標準）。12時間停止後、真空度は≤5Paです。

3. 排気速度：排気時間：大気圧～5×10-4Pa 20分未満

1. 引き出し式構造で、最大150×150mmのサンプルを載せることができ、空気圧式基板バッフルを装備しています。

2. 基板と蒸発源間の距離は電気的に調整可能であり、電動昇降調整の最大距離は60mmです。

3. サンプルステージは水冷機能付きで回転可能：サンプルステージの回転速度は0～30rpmまで連続的に調整可能です。

1.高真空電子ビーム蒸着コーティング機には、ボート型蒸発源が2組装備されています。金属源は、水冷銅電極+蒸発ボート構造（最高温度1500度）を採用しています。高真空電子ビーム蒸着コーティング機には、2.4kwの蒸発電源が装備されています。蒸発源電源には、定電流と定電圧の2つの駆動モードがあり、切り替えることができます。蒸発電源は、ソフトウェアまたは手動で制御できます。蒸発電源は、膜厚計PID（閉ループ制御）を介して蒸発速度を自動的に調整することもできます。デジタルディスプレイ付き。

2.高真空電子ビーム蒸着コーティング機には、4セットの有機蒸着ビーム源炉、4つの有機蒸着電源、温度表示機能付き有機蒸着源、および日本製の導電性温度コントローラを備えた有機蒸着源炉が装備されています。 4セットのるつぼを装備し、加熱温度：0〜700℃、調整可能な角度範囲：0〜15度、

1.電源：直流 5V（±10％）、最大電流400mA。

2.周波数分解能：±0.03Hz。

3. 膜厚分解能：0.0136Å（アルミニウム）。

4. フィルム厚さの精度: ±0.5%。プロセス条件、特にセンサーの位置、材料の応力、温度、密度によって異なります。

5. 測定速度：100ms〜1s/時間、調整可能。

6.測定範囲：500000Å（アルミニウム）。

チラー