シングルヘッド高真空マグネトロンプラズマスパッタリングコーター

製品モデル

VTC-600-1HD

設置条件

この装置は標高1000m以下、温度25℃±15℃、湿度55%ロジウム±10%Rhの範囲内で使用する必要があります。

1. 水: 装置には自己循環式水冷却装置が装備されています（純水または脱イオン水で満たされます）

2. 電気: AC220V 50Hz、アースがしっかりしていること

3. ガス：装置室内にはアルゴンガス（純度99.99％以上）を充填する必要があり、アルゴンガスボンベ（Ø6mmダブルフェルールジョイント付き）および減圧弁はユーザーが用意する必要があります。

4. 作業台：サイズ1500mm×600mm×700mm、耐荷重200kg以上

5. 換気装置：必要

主要なパラメータ

（仕様）

1.電源電圧：220V 50Hz

2. 電力: <1KW (真空ポンプは含みません)

3. チャンバーの内径： Ø300mm

4. 真空度の限界：9.0×10^-4良い

5.サンプルステージの加熱温度：RT-500℃、精度±1℃（実際のニーズに応じて温度を上げることができます。）

6. ターゲットガンの数：1個（その他の数量はオプション）

7. ターゲットガンの冷却方法：水冷

8. ターゲット材のサイズ：Ø2″、厚さ0.1～5mm（ターゲット材によって厚さは異なります）

9. DC スパッタリング電力：500W、無線周波数 スパッタリング電力：300W（ターゲット電源の種類はオプション：DC 電源 1 台または 無線周波数 電源 1 台。）

10. サンプルステージ：Ø140mm、オプションのバイアス電圧機能は、お客様の要件に応じてインストールでき、より高いコーティング品質を実現します。

11.サンプルステージの速度：1rpm～20rpmの範囲で調整可能

12. 作動ガス：Arおよびその他の不活性ガス

13. 吸気経路：質量流量計は 2 つの吸気経路を制御します。1 つは 100SCCM、もう 1 つは 200SCCM です。

1. 本体寸法：500mm×560mm×660mm

2. 全体寸法：1300mm×660mm×1200mm

3. 体重：160kg

4.真空チャンバー寸法：φ300×300mm