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シングルターゲットプラズマスパッタリングコーティング装置

1. デスクトッププラズマスパッタリングコーターのセラミックシール高電圧電極ジョイントは、一般的に使用されているゴムシールよりも耐久性に優れています。
2. デスクトッププラズマスパッタリングコーターは、電界におけるガスのイオン化特性に応じて、大容量のスパッタリング真空チャンバーと対応する面積のスパッタリングターゲットを使用して、スパッタリングコーティングをより均一かつ純粋にします。
3. デスクトッププラズマスパッタリングコーターはCE認証に合格しています。

  • Shenyang Kejing
  • 瀋陽、遼寧
  • 10営業日
  • 50セット
  • 情報

コンパクトなシングルターゲットプラズマスパッタコーターのご紹介

一般用医薬品-1100X-SPC-16デスクトッププラズマスパッタリングコーターは、金、プラチナ、インジウム、銀などのさまざまな金属のスパッタリングコーティングを実行できるコンパクトなプラズマスパッタリング装置です。サンプルの直径は50mm、コーティングの厚さは300Aに達します。特にSEMサンプルの表面へのコーティングに適しています。コンパクトなシングルターゲットプラズマスパッタコーターには、サンプルスパッタリングチャンバー真空計とスパッタリング電流計が装備されており、機器の状態を表示および監視できます。特別に設計されたベルジャーエッジゴムシールは、長期使用中にガラスベルジャーが崩壊してサンプルスパッタリングチャンバーの真空度に影響を与えることがないようにします。セラミックシールの高圧ヘッドは、通常使用されるゴムシールよりも耐久性があります。コンパクトなシングルターゲットプラズマスパッタコーターは小型で操作が簡単で、実験室での小さなサンプルのコーティングに適しています。


Desktop Plasma Sputtering Coater

デスクトッププラズマスパッタリングコーターの利点:

1. デスクトッププラズマスパッタリングコーターには真空計とスパッタリング電流計が装備されており、動作状態をリアルタイムで監視できます。

2. コンパクトなシングルターゲットプラズマスパッタコーターは、スパッタリング電流コントローラとマイクロ真空エアバルブを調整して、真空チャンバー圧力、イオン化電流を制御し、必要なイオン化ガスを選択して、優れたコーティング効果を得ることができます。

3. コンパクトなシングルターゲットプラズマスパッタコーターのベルジャーの縁にあるゴム製シーリングリングは、長期使用中にガラスベルジャーが崩壊しないように特別な設計を採用しています。


プラズマスパッタリングコーターの技術的パラメータ:

製品名

一般用医薬品-1100X-SPC-16 プラズマスパッタリングコーター

製品モデル

一般用医薬品-1100X-SPC-16

設置条件

この装置は標高1000m未満、温度25℃±15℃、湿度55%ロジウム±10%Rhの範囲内で使用する必要があります。

1. 水: 必要ありません。

2. 電気: AC220V 50Hz、適切に接地する必要があります。

3. ガス: 装置チャンバーにはアルゴン(純度 99.99% 以上)を充填する必要があり、独自のアルゴンガスボンベ(減圧弁付き)を用意する必要があります。

4.作業台:サイズ600mm×600mm×700mm、耐荷重50kg以上。

5.換気装置:不要

主なパラメータ

1.電源:220V。

2. 総電力: <2000W (真空ポンプを含む)。

3.真空チャンバー:Ø160mm×120mm。

4. サンプルステージ:Ø50mm、高さ調節可能、8つのSEMサンプルを同時にコーティングできます。

5. 最大均一コーティング:Ø45mm。

6. 製品仕様:

寸法:400mm×300mm×400mm。

重量: 30kg。
Plasma Sputtering Coater


デスクトッププラズマスパッタリングコーターの標準付属品:

いいえ。名前数量写真
1金スパッタリングターゲット1個--
2入口ニードルバルブ1個--
3ヒューズ2ピース--


デスクトッププラズマスパッタリングコーターのオプションアクセサリ:

いいえ。名前関数写真
1金、インジウム、銀、プラチナ等の各種スパッタリングターゲット。(オプション)--


当社のサービス:

当社の製品は、優れた性能、安定した品質、そして耐久性で多くのお客様からご好評をいただいております。製品選定、設置・試運転、操作トレーニングなど、幅広いサービスサポートを提供できる専門技術チームを擁しています。ご使用中にどのような問題が発生しても、迅速かつ効果的なソリューションをご提供できるよう全力を尽くします。皆様のご利用を心よりお待ちしております。
Compact single target Plasma Sputter Coater


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