真空可能かつ雰囲気制御可能なスピンコーター

ブランド Shenyang Kejing

製品の産地瀋陽、中国

納入時間 10営業日

供給能力 50セット

VTC
-200PV 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。VTC
-200PV 真空スピンコーターのチャンバー内を真空にし、完全な真空状態でサンプルをコーティングすることができます。空気中で酸化劣化しやすいフィルム素材。チャンバーを真空にする際、クランプを使用してサンプルを固定します。この装置には 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。

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真空可能かつ雰囲気制御可能なスピンコーター

主な特徴

1. この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。各段階の加減速度設定範囲：100rpm/s～2000rpm/s、各段階の時間範囲：0～60s

2. 試料の固定は真空吸着のほか、接着やクランプによる固定も可能で操作が容易です。

3. 真空度は-0.08MPaまで可能です。

4. 位置決めツールを使用してサンプルを簡単に中心に合わせることができ、位置ずれによる振動や飛び出しを軽減します。

5. サンプルの仕様に応じて異なるチャックを使用でき、交換が便利で簡単です。

6. 24V ブラシレス直流モーターが採用されており、高い信頼性、強力な適応性、簡単な修理とメンテナンス、低騒音、小さな振動、安定した動作、高速で安定した起動、加速後の安定した動作という利点があり、一貫性と安定性を確保します。コーティングの厚さの均一性。

7.オイルレス平行棒真空ポンプは、真空吸着によってサンプルを固定する場合に使用され、小型、簡単な構造、簡単な操作、便利なメンテナンス、および環境汚染がないという利点があります。

8. 不活性ガス雰囲気(アル、N2など)でのコーティングが可能です。

9. 真空下で塗布する場合、サンプル基板は接着やクランプなどの手段で固定されます。

10. チャンバーは耐化学腐食性と優れた応力亀裂に対する耐性を向上させるために長寿命の PP 材料で作られ、機械本体は耐久性と軽量の鋳造アルミニウム構造を採用しています。

11. 英語のオペレーティングシステム

12. オープンカバー保護の機能があります。塗装中または塗装終了時にトップカバーを開けると、機械は直ちに急減速して停止します。

13.コントローラーは、より直観的で信頼性の高いLCD数値表示付きのコントロールボックスを採用しています。

T技術的パラメータ

商品名	VTC -200PV 真空スピンコーター
製品モデル	VTC -200PV
設置条件	本装置は標高1000m以下、温度25℃±15℃、湿度55%Rh ±10%Rhの環境で使用してください。 1.水：不要 2. 電気: AC220V 50Hz、適切な接地が必要です。 3番目のガス: N/A 4. 作業台：サイズ600mm×600mm×700mm、耐荷重50kg以上 5. 換気装置: 必要
主なパラメータ（仕様）	1.電源: 220V 50HZ 2.モーター出力: 350W/24V 3.速度範囲: 500rpm-6000rpm 4. 12 グループのプログラムを保存でき、各グループには 6 つの実行ステージが含まれます。 5.各段階の加減速度の設定範囲：100rpm/s～2000rpm/s、各段階の時間範囲：0～60s。 6. チャックサイズ：φ100mm 7. チャンバーの真空度は 1 トルに達することができます (VRD -8 メカニカルポンプは連続的に動作します)。
製品の寸法と重量	寸法：φ250mm×300mm 重さ：25kg

S標準付属品

いいえ。	名前	数量	写真
1	真空チャック（φ100mm）	1個
2	クランププレート 2”、3”、4”	1個
3	セントラルポジショナー/ロケーター (位置決めスタッド 4 個を含む)	1個
4	エポキシインジェクター/シリンジ	1個
5	オイルレス真空ポンプ	1個
6	ダブルクリックロータリーベーン真空ポンプ VRD -8	1個

○オプションのアクセサリ

いいえ。	名前	機能型	写真
1	その他仕様の真空チャック	(オプション)
2	ピペット（中国製）	(オプション)
3	ピペット（輸入品）	(オプション)
4	VRD -16 メカニカルポンプ	(オプション)