1100℃ デュアル温度ゾーン管状炉

・二重加熱ゾーンチューブ炉は二重シェル構造を採用し、空気冷却システムを備えています

・二段加熱分割管炉には2つのアルミナ管プラグが装備されています。二段加熱分割管炉を使用する場合は、炉管の両端にこのプラグを差し込んでください（恒温ゾーンとシーリングリングの密閉を確保するため）。

・高純度アルミナ繊維を炉材として使用（表面には高温アルミナコーティングが施されており、加熱効率が向上し、炉の寿命が延びます）

· この炉はアニール炉または拡散炉として使用でき、対応する石英ボートに最大 8" 枚のウェーハを配置できます (石英ボートのサイズはオプションです)

· 電源: 交流 220V 50HZ

· 電力: 8KW

· 温度: 1000℃ (1100℃<1時間)

· 推奨加熱速度：≤10℃/分

· 熱電対：ダブルKタイプ（うち1つは温度検査器）

· 発熱体：フェロモリブデンクロムアルミニウム合金

· 加熱ゾーンの長さ：600mm（単一温度ゾーン：600mm、二重温度ゾーン：300+300mm、三温度ゾーン：200+200+200mm）

· 炉管サイズ：φ6"*1020mm/φ8.5"*1020mm/φ11"*1020mm

· 二重加熱ゾーン分割管炉は、ヒンジ付きフランジとOリングシールで密閉されています。

· 左側の水冷フランジには、真空圧力計、ステンレス製ニードルバルブ、1/4" パゴダノズルジョイントが付属しています。右側の水冷フランジ：KF40真空インターフェース。KF40で使用されるベローズ、ポンプ、KF40バッフルバルブへの接続に便利です（ポンプがKF25インターフェースの場合は、KF40-KF25アダプターが必要です。弊社からご購入いただけます）。

· 炉管内の温度をテストするために、温度テスト装置（装甲熱電対、補償線、温度計）のセットを購入できます。

· デュアル加熱ゾーン分割チューブ炉には、YD858P タイプの温度コントローラーが含まれています。

· PID自動温度制御システム。

· インテリジェントな 50 セグメントのプログラム可能な制御。

· 温度制御精度：±1℃。

· 各温度ゾーンは独立した温度制御システムによって制御されます。

· デフォルトの DB9 パソコン 通信接続ポート。

· MET認定に合格しました。

· オプションのコンピュータ温度制御ソフトウェア (YD858P シリーズ コントローラ用) を使用して、加熱曲線を制御し、データをエクスポートします。

デュアル加熱ゾーンスプリットチューブ炉は1年間の保証と生涯メンテナンスを提供します

特記事項：

1. 発熱体、石英管、サンプルるつぼなどの消耗品は含まれていません。

2. 腐食性ガスや酸性ガスの使用による損傷は保証の対象外となります。

· デュアル加熱ゾーン高圧チューブ炉はCE認証を取得しました

・証明書番号：M.2021.206.C67998