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1200℃スプリット真空管炉
1. 小型チューブ炉は高品質の ABB 電気部品を使用し、優れた品質と効率を実現します。
2. 温度制御精度は+/-1℃に達し、正確な実験結果を保証します。
3. 加熱効率を高めるために高純度アルミナ素材を使用しています。
- Shenyang Kejing
- 瀋陽、中国
- 10営業日
- 50セット
- 情報
小型チューブ炉の説明:
OTF-1200X-5Sは、最高動作温度1100℃のCE認証小型チューブ炉です。炉管は130mm(または100mm)の高純度石英管です。本炉はステンレス鋼製のシーリングフランジを2つ備えており、真空下または大気雰囲気下での試料熱処理が可能です。温度制御は、±1℃の精度で50段階の昇温プログラムに対応しています。本真空チューブ炉は、最大処理能力で5インチウェーハのアニール処理が可能です。
スプリットチューブ炉の主な特徴:
1. ヒンジ付きフランジを備えた 5 インチの石英管。広々としたチャンバーにより、ボックス型雰囲気炉として使用できます (分割チューブ炉チャンバーの汚染問題を排除)。
2. 4インチ基板のアニールが可能。
3. 手作り ALD、CVD、PVD蒸発炉、回転炉などのモジュールベースとして使用できます。(詳細については、お問い合わせください)。
4. スプリットチューブ炉は、高純度アルミナ繊維を炉室材料として使用し、表面に高温アルミナコーティングを施して加熱効率を高めています。
5. 分割管炉には ABB の電気部品が採用されています。
注: ヒンジ付きフランジはオプションです。
スプリットチューブ炉の技術的パラメータ:
製品モデル | 1200℃コンパクトスプリットチューブ炉(真空チューブ炉)(管径130mm)。OTF-1200X-5S |
小型チューブ炉の基本パラメータ | 分割管炉の最高動作温度:1100℃(<0.5時間) スプリットチューブ炉の連続運転温度:1000℃ 分割管炉の推奨加熱速度:≤10℃/分 加熱ゾーンの長さ: 300mm 発熱体:MoドープFeCrAl合金 電圧: AC220V 50Hz 電力: 3KW 熱電対:K型 |
小型管状炉の構造 | シリコンガスケットで密封されたステンレス鋼のシーリングフランジを 1 組装備しています。 石英管寸法:φ130×750mm。 アルミナ管プラグが2個付属しています。運転中は炉管の両端にプラグを取り付け、恒温部とフランジの密閉性を確保してください。 右端のフランジには、真空ポンプを接続するための KF25 インターフェースが備わっています。 真空範囲: 10⁻² トル (機械式ポンプを使用)。 測定範囲が-0.1~0.15MPaの機械式圧力計が取り付けられています。 この装置は PID 温度制御を採用しており、50 段階の加熱/冷却プログラムをサポートします。 過熱保護および熱電対断線保護機能を搭載しています。 |
真空管炉の温度制御 | 真空管炉には YD858P 温度コントローラーが 1 台含まれています。 PID自動温度制御システム。 インテリジェントな 50 セグメントのプログラム可能な制御。 過熱保護および熱電対故障アラームを内蔵。 温度制御精度: ±1°C; デフォルトの DB9 パソコン 通信ポート。 MET 認定済み。 オプションの パソコン 温度制御ソフトウェア (YD858P シリーズ コントローラ用) を使用して、加熱プロファイルを制御し、データをエクスポートできます。 |
真空システム(オプション) | デュアルロータリーベーンメカニカルポンプは、10⁻²トゥール の真空レベルを実現します。 より高い真空度(10⁻⁵ トゥール 以上)が必要な場合は、オプションで国産または輸入の高真空ユニットをご利用いただけます。 |
製品の寸法と重量 | 真空管炉の炉蓋閉寸法:440mm(長さ)×440mm(幅)×460mm(高さ) フランジサポート(各260mm)付き、全体寸法:960mm(長さ)×440mm(幅)×460mm(高さ) 真空管炉の炉蓋開放寸法:440mm(長さ)×440mm(幅)×700mm(高さ) フランジサポート(各260mm)付き、全長:960mm(L)×650mm(W)×700mm(H) 真空管炉の温度調節器ユニット:260mm(長さ)×350mm(幅)×410mm(高さ) 真空管炉の重量:約48KG |
認定資格 | このスプリットチューブ炉は CE 認証を受けています。 証明書番号:M.2021.206.C67997。 お客様が認証費用を負担する場合、当社は個々のユニットがドイツの テュフ 認証または CAS 認証に合格することを保証します。 |
保証期間 | スプリットチューブ炉には 1 年間の保証と生涯メンテナンスが付いています。 特記事項: 発熱体、石英管、サンプルなどの消耗品は保証対象外です。腐食性ガスまたは酸性ガスによる損傷は保証の対象外となります。 |
コンプライアンス | CE 認証、UL 認証、CSA 認証は追加料金でご利用いただけます。 |
当社について:
当社は、すべての小型チューブ炉に対し、生涯にわたる技術サポートと継続的なアップグレードをお約束します。ソフトウェアシステムのアップデートからハードウェア機能の拡張・アップグレードまで、お客様のニーズに柔軟に対応いたします。適切に管理されたスペアパーツ在庫により、小型チューブ炉の一般的な部品はすぐに入手可能で、専用アクセサリも迅速にカスタマイズできるため、小型チューブ炉の生産と試験運用を中断することなく継続できます。また、お客様からのフィードバックを重視し、定期的な満足度調査と再訪問を実施し、お客様のご意見に基づいて小型チューブ炉とサービスプロセスを最適化しています。これにより、お客様との共存的成長とWin-Winの協力という長期的な目標を真に達成しています。