耐腐食スピンコーター（6K 回転数、最大6インチウェーハ） -

ブランド Shenyang Kejing

製品の産地瀋陽、中国

納入時間 22営業日

供給能力 50セット

VCTC の-200P 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。チャンバーの上部カバーはサンプルを加熱することができ (オプション機能)、高粘度の薄膜材料のコーティングプロセスに役立ちます。

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耐腐食スピンコーター（6K 回転数、最大6インチウェーハ） -

主な特徴

1. 装置は12セットのプログラムを保存でき、各セットには6つの実行ステージが含まれています。各ステージの加速と減速の設定範囲：100rpm / s〜2000rpm / s、各ステージの時間範囲：0〜60秒

2.サンプルは真空吸着によって固定されるため、操作が簡単です。

3. 真空度は-0.08MPaまで達します。

4. 位置決めツールを使用してサンプルを簡単に中央に配置することができ、位置ずれによる振動や飛び出しを軽減できます。

5. サンプルの仕様に応じて異なるチャックを使用でき、交換も便利で簡単です。

6. 24VブラシレスDCモーターを採用しており、信頼性が高く、適応性が強く、修理とメンテナンスが簡単で、騒音が少なく、振動が小さく、動作が安定しており、起動が速く安定しており、加速後の動作が安定しており、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できるなどの利点があります。

7. 本機はグローブボックス内で使用できますが、制御部と真空ポンプはグローブボックスの外側に設置する必要があります。

8.コーティングは不活性ガス雰囲気（アル、N2など）で行うことができます。

9. オイルレス平行棒真空ポンプは、小型、構造が簡単、操作が簡単、メンテナンスが便利、環境汚染がないなどの利点があります。

10. チャンバーは、耐化学腐食性と優れた応力亀裂性を向上させるために、より長い耐用年数を持つ PP 材料で作られており、機械本体は耐久性があり軽量な鋳造アルミニウム構造を採用しています。

11. 英語版オペレーティングシステム

12. カバーオープン保護機能があり、コーティング工程中またはコーティング終了時にトップカバーが開かれると、機械は直ちに急減速して停止します。

13. コントローラーは、より直感的で信頼性の高い液晶数値ディスプレイを備えた単一のコントロールボックスを採用しています。

T技術的パラメータ

商品名	VCTC の-200P 真空スピンコーター
製品モデル	VCTC の-200P
設置条件	1. 温度と湿度：10〜85％RH（25℃、結露なし）温度：0〜45℃。 2. 設備の周囲に強い地震発生源や腐食性ガスがない。 3. 水：機器には下水出口が装備されている 4. 電気: 単相: AC220V 50Hz 国家標準3極ソケット10Aは確実に接地されている必要があります 5.ガス：真空負圧（真空ポンプ）排気流量は70L/M以上（装置は保護不活性ガスを通過できる） 6. 作業台: 800X600X700mm で、100KG 以上の荷重に耐えられるものが推奨されます (頑丈なセメント製のプラットフォームが適しています) 7. 換気装置: 特別な要件なし
主なパラメータ（仕様）	1.電源インターフェース：保険付き電源ソケット：AC220V 50Hz、保険管仕様は10A、φ5×20mm（このデバイスはAC110V 50/60Hzの製品カスタマイズをサポートしています。） 2. 総電力: ≤150W (外部真空ポンプを除く) 3. コーティングホストキャビティ（材質）：ポリプロピレン 4. サンプルトレイ（吸盤）：Φ100ポリプロピレン真空吸盤1個（加熱機能付き、ポリテトラフルオロエチレン製） 5. 操作モード: 12セットのプログラムを保存でき、各プログラムセットには6つの操作段階が含まれます。 6.コーティング速度：500rpm-6000rpm 7.加減速率：各加減速設定範囲：100rpm〜2000rpm 8. コーティング時間：各時間範囲：0～60秒 9. 速度安定性: ±1% 10.制御モード：PCBシングルチップマイクロコンピュータキー制御LMC LCDディスプレイ 11. 加熱モード: 標準装備にはこの機能はありません (このマシンは、加熱機能、独立した温度制御システム、ホスト制御とは関係なくカスタマイズできます) 12.加熱温度：カスタマイズ可能な温度上限：RT-100℃ 13. 加熱電力: AC220V 1000W 14.温度制御精度：±2℃
製品の寸法と重量	寸法：本体：Φ250mmX360mm コントロールボックス: 330mmX380mmX150mm 重量: 15kg

S標準アクセサリー

いいえ。	名前	数量	写真
1	真空チャック（φ100mm）	1個
2	Oリング	1個
3	中央ポジショナー/ロケーター（位置決めスタッド 4 個を含む）	1個
4	エポキシインジェクター/シリンジ（20ml）	1個
5	インジェクター/シリンジブラケット	1個
6	オイルレス真空ポンプ	1個

オプションのアクセサリ

いいえ。	名前	機能型	写真
1	その他の仕様の真空チャック	（オプション）
2	ピペット（中国製）	（オプション）
3	ピペット（輸入品）	（オプション）