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マグネトロンスパッタリングコーター

1. 真空マグネトロンスパッタリングコーティング装置は、大容量のスパッタリング真空チャンバーと、電界内のガスイオン化特性に応じた対応面積のスパッタリングターゲットを使用して、スパッタリングコーティングをより均一かつ純粋にすることができます。
2. 真空マグネトロンスパッタリングコーティング機のスパッタリングヘッドは、ペルチェ冷却技術を採用しており、高性能の微粒子コーティングを実現します。
3.真空マグネトロンスパッタリングコーティング装置は、水冷式スパッタリングヘッドと水冷式ステージを使用することができます。

  • Shenyang Kejing
  • 瀋陽、遼寧
  • 10営業日
  • 50セット
  • 情報

水冷式マグネトロンスパッタコーティング装置のご紹介:

一般用医薬品-1100X-SPC-16M水冷マグネトロンスパッタコーティング機は、真空環境下でターゲットに粒子を衝突させることで発生するスパッタリング効果を利用して、ターゲットの原子または分子を固体表面から放出し、基板上に堆積させて薄膜を形成します。これは、物理蒸着(PVD)薄膜作製技術の一種です。シンプルで信頼性が高く、経済的なコーティング装置として設計されたこの装置は、実験室での各種複合膜サンプルの作製や、非導電性材料の実験用電極の製造に適しています。水冷マグネトロンスパッタコーティング機は、実験室で走査型電子顕微鏡サンプルを作製するために使用できます。また、水冷マグネトロンスパッタコーティング機は小型で実験室のスペースを節約し、操作が簡単で初心者にも適しています。
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine


PVDスパッタコーターの利点:

1. PVD スパッタコーターには真空計とスパッタリング電流計が装備されており、動作状態をリアルタイムで監視できます。

2. PVD ​​スパッタコーターは、スパッタリング電流コントローラとマイクロ真空エアバルブを調整することで、真空チャンバーの圧力とイオン化電流を制御し、必要なイオン化ガスを選択して、最適なコーティング効果を得ることができます。

3. PVD ​​スパッタコーターのベルジャーの端にあるゴム製シールリングは特別な設計を採用しており、長期使用中にガラスベルジャーが崩壊しないことを保証します。

4. PVD ​​スパッタコーターで使用されるセラミックシール高電圧電極コネクタは、通常のゴムシールよりも耐久性に優れています。


PVDスパッタコーターの技術的パラメータ:

製品名

一般用医薬品-1100X-SPC-16M Pvdスパッタコーター

製品モデル

一般用医薬品-1100X-SPC-16M

設置条件

この装置は標高1000m未満、温度25℃±15℃、湿度55%ロジウム±10%Rhの範囲内で使用する必要があります。

1. 水: 装置には自己循環冷却水装置(純水または脱イオン水で満たされている)を装備する必要があります。

2. 電気: AC220V 50Hz、アースがしっかり取られている必要があります。

3. ガス:装置室内にアルゴン(純度99.99%以上)を充填する必要があり、アルゴンガスボンベ(減圧弁付き)を用意する必要があります。

4.作業台:サイズ600mm×600mm×700mm、耐荷重50kg以上。

5. 換気装置:不要。

主なパラメータ

1.ターゲット:Ø50mm。

2.真空チャンバー:Ø160mm×120mm。

3.真空度:≤4×10-2mbar。

4.最大電流:100mA。

5. 設定可能な制限時間: 9999秒。

6.マイクロ真空エアバルブ:Ø3mmホースに接続します。

7.制限電圧:1600V DC。

8.機械式ポンプ:2L/s。

9. 対象物質:

    ・サイズ要件:φ50mm×(0.1-0.5)んん(厚さ)​​。

    ・オー、農業、Cu等の金属のスパッタリングに適しています(弊社にて取り扱っております)。

10. 製品仕様:

      ・サイズ:360mm×300mm×380mm。

      ・ 重さ:

            ・総重量:50kg。

            ・本体重量:15kg。

Magnetron Sputter Coating Machines with Water Chiller


PVDスパッタコーターの標準付属品:

いいえ。名前数量写真
1金スパッタリングターゲット1個--
2入口ニードルバルブ1個--
3ヒューズ2ピース--


PVDスパッタコーターのオプションアクセサリ:

いいえ。名前関数写真
1金、インジウム、銀、プラチナ等の各種スパッタリングターゲット。(オプション)--


私たちについて:

当社は製品の品​​質において高い基準を維持するだけでなく、物流と梱包においても細部にまで配慮しています。精密機器の輸送プロセスは極めて重要であり、破損するとお客様の正常な生産活動に支障をきたします。当社の梱包チームは厳格な訓練を受け、精密機器の梱包スキルを習得しています。そのため、万全の物流システムを構築し、世界的に有名な物流会社と提携することで、お客様が迅速に製品を受け取れるよう努めています。

Pvd Sputter Coater

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