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半導体フォトリソグラフィープロセスにおけるスピンコーターの応用

脱ガム:VTC-200-4Pスプレースピンコーターを用いた湿式脱ガムプロセスでは、有機溶剤をパターン表面のフォトレジスト膜に滴下することで、フォトレジスト膜を溶解・除去し、きれいなパターンを残します。コーティングに使用可能なコーティング装置には、VTC-100PA真空スピンコーター、VTC-100PA-Ⅰ上蓋加熱真空スピンコーター、VTC-100真空スピンコーター、VTC-200真空スピンコーター、VTC-200PV真空ロータリーコーティング機、VTC-200-4Pスプレーロータリーコーティング機、VTC-100PA-UV紫外線スピンコーターなどがあります。具体的なプロセスに応じて、異なるスピンコーターを選択できます。

2025/06/16
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実験室用チラーを使用するメリット

ラボ用チラーは、実験装置やプロセスの温度を一定に保つために特別に設計された冷却システムです。動作原理は、冷却液(水、エチレングリコール、または特定の冷媒)を閉ループシステム内で循環させ、装置やサンプルから熱を除去することです。このプロセスにより、温度が安定し、必要な範囲内に保たれることが保証されます。これは、多くの実験アプリケーションの精度と信頼性にとって非常に重要です。

2025/06/13
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実験室用乾燥オーブンはどのように作業効率を向上させるのでしょうか?

現代産業の急速な発展に伴い、製品の重要性は徐々に高まっています。この装置は、製薬、エレクトロニクス、材料科学などの業界でも広く利用されています。これらの業界では、敏感な材料の乾燥と硬化に対する高い要求も高まっています。当社が製造する実験室用乾燥炉は、これらの業界の高い要求に完全に応え、お客様の高性能な生産や実験の実現を支援します。

2025/05/29
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スパッタリングにおける 直流、もし、無線周波数 の違いは何ですか?

スパッタリング技術の出現と応用は多くの段階を経てきました。30年以上の開発を経て、マグネトロンスパッタリング技術は光学、電気、その他の機能薄膜にとって欠かせない方法に発展しました。あなたはそれについてどれくらい知っていますか?

2025/03/21
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