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卓上真空レススピンコーター
VTC-50Aスピンコーターは、モーター部と制御部に独立した電源システムを採用し、速度制御システムには干渉防止の高いシングルチップマイコンを採用して制御するため、回転速度は1000回転の範囲で非常に高速で安定しています。 -8000RPM。コーターは動作中に 2 つのステージ、つまり低速時の T1 ステージと高速時の T2 ステージから構成されます。
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可変速度(1-200 んん/分)付きデスクトップディップコーター
PTL 翻訳-MM01 ディップコーターは、ワイヤーを引っ張ることでサンプルを垂直に引っ張ります。サンプルを一定時間液体フィルム材料に浸した後、引き出すことで、サンプルの表面に一定の厚さのフィルムが成長します。PTL 翻訳-MM01 ディップコーターは、シングルボードコンピューターを採用してワイヤーの引っ張り速度を制御し、リフターをスムーズかつ正確に動作させます。
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スピンコーター(8K 回転数、最大4インチウェーハ)3真空チャック付き
VCTC の-100 真空スピンコーターには、異なるサイズの 3 つの真空チャック (標準) が装備されており、サンプルのサイズに応じて異なる真空チャックを使用できます。作業中、VCTC の-100 真空スピンコーターは真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレートに固定します。この装置は 2 段階プログラムを使用して速度を制御します。
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ミリ級プログラマブルディップコーター(1~200 んん/分)
PTL 翻訳-MM02 プログラム制御ディップコーターは、ワイヤーを引っ張ることでサンプルを垂直に引っ張ります。PTL 翻訳-MM02 プログラマブルディップコーターは、PLC プログラム制御を採用し、引っ張り速度、液体コーティング材料へのサンプルの浸漬時間、サンプルが液体に入る速度、サンプルが液体コーティング材料に出入りするサイクル時間、およびサンプルの乾燥時間を設定および調整します。
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コンパクトスピンコーター(8K 回転数、最大4インチウェーハ)ローチャック設計
VCTC の-100B 真空スピンコーターは、VCTC の-100 真空スピンコーターのアップグレード版です。上部カバーは折り畳んで開閉でき、安全ロックが装備されています。同時に、カバー開放保護機能も備えており、オペレーターの安全性をより確実に保証します。
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PLC制御精密ディップコーター(1~200 んん/分)
PTL 翻訳-MM02-200 プログラム制御垂直ディップコーターは、液体成長フィルムの研究用に特別に設計された精密機器です。フィルムは、液体コーティング材料に浸したサンプルを垂直に引っ張ることで成長します。より大きなサンプルをコーティングすることができ、サンプルのサイズは 310mm×260mm、厚さは 1mm~5mm に達します。
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プログラム可能な真空チャック スピン コーター (500 ~ 6000 回転数、最大 8 インチ)
VCTC の-200 真空スピンコーターは、操作が簡単、洗浄が便利、サイズが小さいという利点があります。主に大学や科学研究機関の研究室でのフィルム成長プロセスで使用されます。 VCTC の-200真空スピンコーターは作業中、真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレート上に固定します。この装置は2段階のプログラムで速度を制御します。
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PLC制御精密ディップコーター(1-500 んん/分)
PTL 翻訳-MM02-500 プログラム制御垂直ディップコーターは、基板の液体成長膜の研究用に特別に設計された精密機器です。液体コーティング材料に浸したサンプルを垂直に引っ張ることで膜を成長させます。引っ張る速度、浸漬時間、サンプルが液体に入る速度、サンプルコーティングのサイクル時間、サンプルの乾燥時間は、制御システムによって制御できます。
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高速スピンコーター(10K 回転数、最大5インチ)
VCTC の-100PA 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、プレート製造、表面コーティングなどに適しています。強酸および強アルカリコーティング溶液に使用できます。この装置には、サンプルのサイズに応じて、異なるサイズ(標準)の 2 つの真空チャックが装備されています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。
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