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高速スピンコーター（10K 回転数、最大5インチ）
VTC-100PA真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。強酸および強アルカリのコーティング溶液にも使用できます。本装置は、サンプルのサイズに合わせてサイズが異なる2つの真空チャック（標準）を備えています。本装置は12セットのプログラムを保存でき、各セットには6つの実行ステージが含まれています。
- Shenyang Kejing
- 瀋陽、中国
- 10営業日
- 50セット
- 情報
製品紹介
VTC-100PA真空スピンコーターは、半導体、結晶、光ディスク、フォトリソグラフィーにおける表面コーティングプロセス向けに設計されています。また、強酸または強アルカリコーティング溶液を用いたフィルム作製にも適しています。
本機にはサイズの異なる2つの真空チャックが標準装備されており、サンプルの寸法に合わせて適切なチャックを選択できます。VTC-100PAは、動作中に真空吸引によってサンプルをチャックに固定します。本機は最大12のプログラムを保存でき、各プログラムには6つの動作ステージが含まれています。ステージごとに回転速度が異なるため、コーターは徐々に最高速度まで加速することができます。これにより、サンプル表面への均一な膜形成が保証され、材料の無駄が削減され、効率が向上します。
VTC-100PA 真空スピンコーターは、簡単な操作、便利なクリーニング、コンパクトな設置面積などの特徴を備えており、大学、研究機関、R&D 施設の研究室で薄膜製造に広く使用されています。
主な特徴
1.サンプルは真空吸着によって固定されるため、操作が簡単です。
2.真空度は-0.08MPaまで達します。
3. 位置決めツールを使用してサンプルを簡単に中央に配置することができ、位置ずれによる振動や飛び出しを軽減できます。
4. サンプルの仕様に応じて異なるチャックを使用でき、交換が便利で簡単です。
5. 24VブラシレスDCモーターを採用し、高い信頼性、優れた適応性、簡単な修理とメンテナンス、低騒音、小さな振動、安定した動作、高速で安定した起動、加速後の安定した動作などの利点があり、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保します。
6. オイルレス平行棒真空ポンプは、小型、構造が簡単、操作が簡単、メンテナンスが便利、環境汚染がないなどの利点があります。
7. チャンバーは、化学腐食と優れた応力亀裂に対する耐性を向上させるために、より長い耐用年数を持つPP材料で作られており、機械本体は耐久性があり軽量な鋳造アルミニウム構造を採用しています。
8.コーティングは不活性ガス雰囲気（アル、N2）。
9. 英語のオペレーティングシステム
10. カバーオープン保護機能を搭載しています。コーティング工程中またはコーティング終了時にトップカバーが開かれると、機械は直ちに急減速して停止します。
11. 制御インターフェースはタッチスクリーンとシングルボードコンピュータ制御システムを採用しており、数値表示はより直感的で信頼性が高いです。
T技術的パラメータ
製品名 | VTC-100PA 真空スピンコーター | |
製品モデル | VTC-100PA | |
設置条件 | この装置は標高1000m以下、温度25℃±15℃、湿度55%ロジウム±10%Rhの範囲内で使用する必要があります。 1. 水：給水口と排水口を装備 2. 電気: AC220V 50Hz、アースがしっかりしていること 3. ガス: 該当なし 4. 作業台：サイズ600mm×600mm×700mm、耐荷重50kg以上（頑丈なセメント製のテーブルが望ましい）。 5. 換気装置：特別な要件なし | |
主なパラメータ （仕様） | 1. 電源インターフェース：AC220V、50Hz、10A 2. 総電力:≤150W (外部真空ポンプを除く) 3.コーティングチャンバー（材質）：ポリプロピレン 4. サンプルホルダー（真空チャック）：ポリプロピレン製チャック、Φ19mmとΦ60mm、各1個 5. 動作モード: 最大12個のプログラムを保存可能。各プログラムには6つの動作段階が含まれます。 6. 回転速度: 500 回転数 – 10,000 回転数 有効 7. 加減速率：段階ごとに調整可能な範囲：100 回転数～2000 回転数 8. コーティング時間：ステージごとの時間範囲：0～60秒 9. 速度安定性: ±1% 10.制御モード：PCBマイクロコントローラ、キーパッド制御、LMC LCDディスプレイ 11. 加熱方法: 利用不可 | |
製品の寸法と重量 | 12. 製品仕様： · 寸法：450mm×280mm×340mm ・重量：18kg |
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S標準アクセサリー
いいえ。 | 名前 | 数量 | 写真 |
1 | 真空チャック（Oリングを含む） （Ø19mm そしてØ60mm） | 2個 |
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2 | 中央ポジショナー/ロケーター（位置決めスタッド4個を含む） | 1個 | |
3 | エポキシインジェクター/シリンジ（20ml） | 1個 |
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4 | インジェクター/シリンジブラケット | 1個 | |
5 | オイルレス真空ポンプ | 1個 |
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6 | ゴムパイプ（クランプ含む） | 1個 |
ザオプションアクセサリ
いいえ。 | 名前 | 機能型 | 写真 |
1 | その他の仕様の真空チャック | （オプション） |  |
2 | ピペット（中国製） | （オプション） |  |
3 | ピペット（輸入品） | （オプション） |  |
保証
1 年間限定の永久サポート（不適切な保管条件による錆びた部品は除く）
ロジスティクス
