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卓上真空レススピンコーター
VTC -50Aスピンコーターは、モーター部と制御部に独立した電源システムを採用し、速度制御システムには干渉防止の高いシングルチップマイコンを採用して制御するため、回転速度は1000回転の範囲で非常に高速で安定しています。 -8000RPM。コーターは動作中に 2 つのステージ、つまり低速時の T1 ステージと高速時の T2 ステージから構成されます。
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スピンコーター (8K 回転数 、最大 4 インチウェーハ) 3 真空チャック付き
VTC -100 真空スピンコーターには、サイズの異なる真空チャック（標準用）が 3 個装備されており、サンプルサイズに応じて真空チャックを使い分けることができます。VTC -100真空スピンコーターは作業中、真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレート上に固定します。この装置は2段階のプログラムで速度を制御します。
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コンパクトスピンコーター (8K 回転数 、最大 4 インチウェーハ) 低チャック設計
VTC -100B 真空スピンコーターは、VTC -100 真空スピンコーターのアップグレード版です。上部カバーは折りたたんで開閉でき、安全ロックが付いています。同時に、オープンカバー保護機能を備えており、オペレーターの安全をより確実に保証します。
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プログラム可能な真空チャック スピン コーター (500 ～ 6000 回転数 、最大 8 インチ)
VTC -200 真空スピンコーターは、操作が簡単、洗浄が便利、サイズが小さいという利点があります。主に大学や科学研究機関の研究室でのフィルム成長プロセスで使用されます。VTC -200真空スピンコーターは作業中、真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレート上に固定します。この装置は2段階のプログラムで速度を制御します。
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高速スピンコーター (10K 回転数 &アンプ ; 最大 5 インチ)
VTC -100PA 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。強酸、強アルカリの塗布液にも使用可能です。試料の大きさに合わせてサイズの異なる真空チャック（標準用）を2台装備しています。この装置には 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。
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100℃加熱カバー付き高速スピンコーター
VTC -100PA-I 真空スピンコーターは、半導体プロセス、水晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。強酸、強アルカリの塗布液にも使用できます。試料の大きさに合わせてサイズの異なる真空チャック（標準用）を2台装備しています。この装置には 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。
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200℃加熱カバー付き高速スピンコーター
VTC -100PA-Ⅱ 真空スピンコーターは、半導体プロセス、水晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。強酸、強アルカリの塗布液にも使用可能です。試料の大きさに合わせてサイズの異なる真空チャック（標準用）を2台装備しています。この装置には 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。
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高速スピンコーター (10K &; 最大 5 インチ)、 カバー付き
-100PA- UVスピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。上部カバーはUV光源を採用しており、特に紫外線に敏感な材料に適しており、素早く固化することができます。コーティングされたフィルム。さらに、 ランプには重合機能もあり、モノマーを重合させてポリマー膜を形成することができます。
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耐腐食スピンコーター (6K 回転数 &アンプ ; 6 インチウェハー最大)
VTC -200P 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。チャンバー上部のカバーはサンプルを加熱することができます（オプション機能）。これは、高粘度の薄膜材料のコーティングプロセスに有益です。
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