- ホーム
- >
- 製品
- >
- 200℃加熱カバー付き高速スピンコーター
- >
200℃加熱カバー付き高速スピンコーター
VTC-100PA-II真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。強酸および強アルカリのコーティング溶液にも使用できます。本装置は、サンプルのサイズに合わせてサイズが異なる2つの真空チャック（標準）を備えています。本装置は12セットのプログラムを保存でき、各セットには6つの実行ステージが含まれています。
- Shenyang Kejing
- 瀋陽、中国
- 10営業日
- 50セット
- 情報
製品紹介
VTC-100PA-II加熱真空スピンコーターは、半導体、結晶、光ディスク、フォトリソグラフィー、および関連アプリケーションにおける表面コーティングプロセス向けに設計されています。強酸性溶液と強アルカリ性溶液の両方を用いてコーティングを調製できます。
本システムは2つの異なるサイズの真空チャックを搭載しており、サンプルの寸法に合わせて適切なチャックを選択できます。動作中は、サンプルは真空吸引によってホルダーにしっかりと固定されます。コーターは最大12種類のプログラム可能なレシピをサポートし、各レシピには6つの連続ステージが含まれています。各ステージでは回転速度を個別に設定でき、システムは徐々に最高速度まで加速します。これにより、サンプル表面全体に均一な薄膜形成が保証され、材料の無駄を最小限に抑え、効率を向上させます。
VTC-100PA-II 加熱真空スピンコーターは、ユーザーフレンドリーな操作、簡単なクリーニング、コンパクトな設計を特徴としており、薄膜の作成に携わる大学や研究機関の研究室に最適です。
主な特徴
1.サンプルは真空吸着によって固定されるため、操作が簡単です。
2.真空度は-0.08MPaまで達します。
3. 位置決めツールを使用してサンプルを簡単に中央に配置することができ、位置ずれによる振動や飛び出しを軽減できます。
4. サンプルの仕様に応じて異なるチャックを使用でき、交換が便利で簡単です。
5. 24VブラシレスDCモーターを採用しており、信頼性が高く、適応性が強く、修理とメンテナンスが簡単で、騒音が少なく、振動が小さく、動作が安定しており、起動が速く安定しており、加速後の動作が安定しており、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できるなどの利点があります。
6. オイルレス平行棒真空ポンプは、小型、構造が簡単、操作が簡単、メンテナンスが便利、環境汚染がないなどの利点があります。
7. チャンバーは、耐化学腐食性と耐応力亀裂性に優れた長寿命のポリプロピレン素材で作られており、機械本体は耐久性があり軽量な鋳造アルミニウム構造を採用しています。
8.コーティングは不活性ガス雰囲気（アル、N2）。
9. 英語のオペレーティングシステム
10. カバーオープン保護機能を搭載しています。コーティング工程中またはコーティング終了時にトップカバーが開かれると、機械は直ちに急減速して停止します。
11. 制御インターフェースはタッチスクリーンとシングルボードコンピュータ制御システムを採用しており、数値表示はより直感的で信頼性が高いです。
T技術的パラメータ
製品名 | VTC-100PA-II 加熱機能付き真空スピンコーター | |
製品モデル | VTC-100PA-II | |
設置条件 | 1. 温度および湿度: 10～85% RH (25 °C、結露なし)、動作温度: 0～45 °C。 2. 環境: 強い振動源や腐食性ガスがない。 3.給水：排水口を装備しています。 4.電源：単相AC220V、50Hz、10A。 5. ガス供給：真空負圧（真空ポンプ）、排気速度70 L/分以上。システムはArやN₂などの保護用不活性ガスでパージすることもできます。 6. 作業台：推奨サイズは800mm×600mm×700mm、耐荷重は50kg以上（セメント製の作業台が望ましい）。 7. 換気: 特別な要件はありません。 | |
主なパラメータ （仕様） | 1.電源インターフェース：本体：AC220V 50Hz 10A；ヒーター：AC220V 50Hz 10A 2. 総電力:≤1150W (外部真空ポンプを除く) 3.コーティングチャンバー（材質）：PTFE 4. サンプルホルダー（真空チャック）：PTFEチャックΦ19mmとΦ60mm、各1個 5. 動作モード: 最大12個のプログラムを保存可能。各プログラムには6つの動作段階が含まれます。 6. 回転速度：500 回転数～10,000 回転数（実効） 7. 加減速率：段階ごとに調整可能な範囲：100 回転数～2000 回転数 8. 回転時間：段階ごとに調整可能な範囲：0～60秒 9. 速度安定性: ±1% 10.制御システム：PCBマイクロコントローラ、キーパッド制御、LMC LCDディスプレイ 11.加熱方法：独立した温度制御システムを備えた炭素繊維加熱管、本体制御とは連動しない 12.加熱温度：室温～200℃ 13. 加熱電力: AC220V 1000W 14.温度制御精度：±2℃ | |
15. 製品仕様： · 寸法：450mm×340mm×280mm ・重量：20kg |
| |
S標準アクセサリー
いいえ。 | 名前 | 数量 | 写真 |
1 | 真空チャック（Oリングを含む） （Ø19mm そしてØ60mm） | 2個 | |
2 | 中央ポジショナー/ロケーター（位置決めスタッド4個を含む） | 1個 |
|
3 | エポキシインジェクター/シリンジ（20ml） | 1個 | |
4 | インジェクター/シリンジブラケット | 1個 | - |
5 | オイルレス真空ポンプ | 1個 | |
6 | ゴムパイプ（クランプ含む） | 1個 | - |
ザオプションアクセサリ
いいえ。 | 名前 | 機能型 | 写真 |
1 | その他の仕様の真空チャック | （オプション） | |
2 | ピペット（中国製） | （オプション） | |
3 | ピペット（輸入品） | （オプション） |
|
保証
1 年間限定の永久サポート（不適切な保管条件による錆びた部品は除く）
ロジスティクス
