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100℃加熱カバー付き高速スピンコーター
VTC -100PA-I 真空スピンコーターは、半導体プロセス、水晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。強酸、強アルカリの塗布液にも使用できます。試料の大きさに合わせてサイズの異なる真空チャック（標準用）を2台装備しています。この装置には 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。
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200℃加熱カバー付き高速スピンコーター
VTC -100PA-Ⅱ 真空スピンコーターは、半導体プロセス、水晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。強酸、強アルカリの塗布液にも使用可能です。試料の大きさに合わせてサイズの異なる真空チャック（標準用）を2台装備しています。この装置には 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。
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