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高速スピンコーター(10K 回転数、最大5インチ)
VCTC の-100PA 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、プレート製造、表面コーティングなどに適しています。強酸および強アルカリコーティング溶液に使用できます。この装置には、サンプルのサイズに応じて、異なるサイズ(標準)の 2 つの真空チャックが装備されています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。
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100ºC加熱カバー付き高速スピンコーター
VCTC の-100PA-I 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、プレート製造、表面コーティングなどに適しています。強酸および強アルカリコーティング溶液に使用できます。この装置には、サンプルのサイズに応じて、異なるサイズ(標準)の 2 つの真空チャックが装備されています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。
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200℃加熱カバー付き高速スピンコーター
VCTC の-100PA-Ⅱ 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、プレート製造、表面コーティングなどに適しています。強酸および強アルカリコーティング溶液に使用できます。この装置には、サンプルのサイズに応じて、異なるサイズ (標準) の 2 つの真空チャックが装備されています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。
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10000 回転数 超高速スピンコーター
VCTC の-100PAX 真空スピンコーターは、高性能の精密接着剤レベリングマシンです。高度な設計コンセプトを採用し、高精度で均一性の高い接着剤塗布操作を実現する精密なモーションコントロールシステムと連携します。6 グループのプログラムを保存でき、各プログラムは 9 ステップまで実行できます。速度、加速度、回転時間など、すべての操作パラメータはデバイス上で簡単に設定できます。
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20000 回転数 超高速スピンコーター
VCTC の-100PAH 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。サンプルは真空吸着によって固定されるため、サンプルを自由に取り出して配置できます。モーターは迅速かつ安定して始動するため、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できます。
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高速スピンコーター(10K 回転数、最大5インチ)グローブボックスで使用
VCTC の-100PA-直流 真空スピンコーターには、異なるサイズの 3 つの真空チャック (標準) が装備されており、サンプルのサイズに応じて異なる真空チャックを使用できます。作業中、VCTC の-100-直流 真空スピンコーターは真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレートに固定します。この装置は 2 段階プログラムを使用して速度を制御します。
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