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高速スピンコーター (10K 回転数 &アンプ ; 最大 5 インチ)
VTC -100PA 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。強酸、強アルカリの塗布液にも使用可能です。試料の大きさに合わせてサイズの異なる真空チャック（標準用）を2台装備しています。この装置には 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。
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100℃加熱カバー付き高速スピンコーター
VTC -100PA-I 真空スピンコーターは、半導体プロセス、水晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。強酸、強アルカリの塗布液にも使用できます。試料の大きさに合わせてサイズの異なる真空チャック（標準用）を2台装備しています。この装置には 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。
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200℃加熱カバー付き高速スピンコーター
VTC -100PA-Ⅱ 真空スピンコーターは、半導体プロセス、水晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。強酸、強アルカリの塗布液にも使用可能です。試料の大きさに合わせてサイズの異なる真空チャック（標準用）を2台装備しています。この装置には 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。
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10000 回転数 超高速スピンコーター
VTC -100PAX 真空スピンコーターは、高性能精密グルーレベリングマシンです。高度な設計コンセプトを採用し、精密なモーション制御システムと連携して、高精度かつ高均一な接着剤塗布操作を実現します。6 グループのプログラムを保存でき、各プログラムは 9 ステップに達します。速度、加速度、回転時間など、すべての動作パラメータをデバイス上で簡単に設定できます。
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20000 回転数 超高速スピンコーター
VTC -100PAH 真空スピンコーターは、半導体プロセス、水晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。真空吸着によりサンプルを固定し、サンプルの取り出し、配置が自由に行えます。モーターは迅速かつ安定して起動し、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できます。
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高速スピンコーター (10K 回転数 および最大 5 インチ) グローブボックス内で使用
VTC -100PA-直流 真空スピンコーターは、サイズの異なる真空チャック（標準用）を3個搭載しており、サンプルサイズに応じて真空チャックを使い分けることができます。VTC -100-直流 真空スピンコーターは、作業中、真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレート上に固定します。この装置は2段階のプログラムで速度を制御します。
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