20000 回転数 超高速スピンコーター

製品紹介

VTC-100PAH真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、リソグラフィーアプリケーションにおける表面コーティング前処理用に設計されています。高性能精密スピンコーターであるVTC-100PAHは、高度な設計コンセプトと精密なモーションコントロールシステムを組み合わせることで、高精度かつ均一なスピンコーティングを実現します。

チャンバーはポリプロピレン製で、優れた耐熱性、電気絶縁性、そして高い耐摩耗性を備えた加工性能を備えています。チャンバー自体は真空引きできませんが、動作中は真空チャックとガス配管が外部の真空ポンプに接続され、サンプルを基板ホルダーにしっかりと保持します。この構造により、操作が簡単でサンプルの出し入れが容易になり、チャックの真空度は最大-0.08 MPaに達します。

回転スピンドルは高速ブラシレスDCモーターで駆動され、低騒音、低振動、スムーズな動作、高い信頼性、幅広い適応性、容易なメンテナンスを実現します。モーターは素早く起動し、加速後は安定した動作をするため、均一で安定したコーティング膜厚を実現します。

VTC-100PAH 真空スピンコーターは、操作が簡単で、クリーニングが簡単で、コンパクトな設計のため、大学や研究機関の実験室で薄膜の作成に広く使用されています。

主な特徴:

1.サンプルは真空吸着によって固定されるため、操作が簡単です。

2.真空度は-0.08MPaまで達します。

3. サンプルの仕様に応じて異なるチャックを使用でき、交換が便利で簡単です。

4. 高い信頼性、優れた適応性、簡単な修理とメンテナンス、低騒音、小さな振動、安定した動作、迅速かつ安定した起動、加速後の安定した動作、コーティング厚さの一貫性と均一性の確保

5.オイルレス平行棒真空ポンプは、小型、構造が簡単、操作が簡単、メンテナンスが便利、環境汚染がないなどの利点があります。

6. チャンバーは、耐化学腐食性と耐応力亀裂性に優れたポリプロピレン素材で作られており、耐用年数が長く、機械本体は耐久性があり軽量な鋳造アルミニウム構造を採用しています。

7.真空検知機能とカバーオープン検知機能を備え、上部カバーには保護ロックが付いています。

8. カバーオープン保護機能を搭載しています。コーティング工程中またはコーティング終了時にトップカバーが開かれると、機械は直ちに急減速して停止します。

9. 中国語/英語切り替え可能なオペレーティングシステム

10. 制御インターフェースはタッチスクリーンを採用しており、数値表示はより直感的で信頼性が高いです。

T技術的パラメータ:

標準付属品:

いいえ。	名前	数量	写真
1	真空チャック（Oリングを含む） （2インチと4インチ）	2個
2	エポキシインジェクター/シリンジ（20ml）	1個
3	オイルレス真空ポンプ	1個
4	アダプター 24V/15A	1個

オプションアクセサリ:

いいえ。	名前	機能型	写真
1	その他の仕様の真空チャック	（オプション）
2	ピペット（中国製）	（オプション）
3	ピペット（輸入品）	（オプション）

保証：

    1 年間限定の永久サポート（不適切な保管条件による錆びた部品は除く）

ロジスティクス：