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スピンコーター (8K 回転数 、最大 4 インチウェーハ) 3 真空チャック付き
VTC -100 真空スピンコーターには、サイズの異なる真空チャック（標準用）が 3 個装備されており、サンプルサイズに応じて真空チャックを使い分けることができます。VTC -100真空スピンコーターは作業中、真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレート上に固定します。この装置は2段階のプログラムで速度を制御します。
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プログラム可能な真空チャック スピン コーター (500 ～ 6000 回転数 、最大 8 インチ)
VTC -200 真空スピンコーターは、操作が簡単、洗浄が便利、サイズが小さいという利点があります。主に大学や科学研究機関の研究室でのフィルム成長プロセスで使用されます。VTC -200真空スピンコーターは作業中、真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレート上に固定します。この装置は2段階のプログラムで速度を制御します。
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高速スピンコーター (10K &; 最大 5 インチ)、 カバー付き
-100PA- UVスピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。上部カバーはUV光源を採用しており、特に紫外線に敏感な材料に適しており、素早く固化することができます。コーティングされたフィルム。さらに、 ランプには重合機能もあり、モノマーを重合させてポリマー膜を形成することができます。
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真空可能かつ雰囲気制御可能なスピンコーター
VTC -200PV 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。VTC -200PV 真空スピンコーターのチャンバー内を真空にし、完全な真空状態でサンプルをコーティングすることができます。空気中で酸化劣化しやすいフィルム素材。チャンバーを真空にする際、クランプを使用してサンプルを固定します。この装置には 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。
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20000 回転数 超高速スピンコーター
VTC -100PAH 真空スピンコーターは、半導体プロセス、水晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。真空吸着によりサンプルを固定し、サンプルの取り出し、配置が自由に行えます。モーターは迅速かつ安定して起動し、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できます。
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