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スピンコーター（8K 回転数、最大4インチウェーハ）3真空チャック付き
VCTC の-100 真空スピンコーターには、異なるサイズの 3 つの真空チャック (標準) が装備されており、サンプルのサイズに応じて異なる真空チャックを使用できます。作業中、VCTC の-100 真空スピンコーターは真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレートに固定します。この装置は 2 段階プログラムを使用して速度を制御します。
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コンパクトスピンコーター（8K 回転数、最大4インチウェーハ）ローチャック設計
VCTC の-100B 真空スピンコーターは、VCTC の-100 真空スピンコーターのアップグレード版です。上部カバーは折り畳んで開閉でき、安全ロックが装備されています。同時に、カバー開放保護機能も備えており、オペレーターの安全性をより確実に保証します。
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プログラム可能な真空チャック スピン コーター (500 ～ 6000 回転数、最大 8 インチ)
VCTC の-200 真空スピンコーターは、操作が簡単、洗浄が便利、サイズが小さいという利点があります。主に大学や科学研究機関の研究室でのフィルム成長プロセスで使用されます。 VCTC の-200真空スピンコーターは作業中、真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレート上に固定します。この装置は2段階のプログラムで速度を制御します。
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高速スピンコーター（10K 回転数、最大5インチ）UVカバー付き
VCTC の-100PA-紫外線 UVスピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。上部カバーはUV光源を採用しており、特にUV光に敏感な材料に適しており、コーティングされたフィルムを素早く固めることができます。また、UVランプには重合機能もあり、モノマーをポリマーフィルムに重合することができます。
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真空・大気圧制御スピンコーター
VCTC の-200PV 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、プレート製造、表面コーティングなどに適しています。VCTC の-200PV 真空スピンコーターのチャンバーは真空にすることができ、完全な真空状態でサンプルをコーティングできるため、空気中で酸化され劣化しやすいフィルム材料に適しています。チャンバーを真空にするときは、クランプを使用してサンプルを固定します。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。
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20000 回転数 超高速スピンコーター
VCTC の-100PAH 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。サンプルは真空吸着によって固定されるため、サンプルを自由に取り出して配置できます。モーターは迅速かつ安定して始動するため、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できます。
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