高速スピンコーター（10K 回転数、最大5インチ）UVカバー付き

製品紹介

VTC-100PA-紫外線 スピンコーター (フォトレジストコーター、スピンコーター、またはスピンコーティングシステムとも呼ばれます) は、半導体製造、結晶、光ディスク、リソグラフィー、表面コーティングなどのプロセス向けに設計されています。

チャンバーはポリプロピレン製で、優れた耐腐食性と長寿命を実現し、強酸・強アルカリ溶液を用いたコーティング用途に適しています。トップカバーにはUVランプ照射機能が搭載されており、特にUV感光性レジストに適しています。塗布されたレジストの急速硬化を可能にするだけでなく、モノマーをポリマーフィルムに変換する重合反応も促進します。

上部カバーの中央には液体注入口があり、ストッパーが備え付けられています。チャンバーを密閉する必要がある場合は、ストッパーを挿入してください。また、チャンバーにはガス導入口も備わっており、スピンコーティングプロセス中に保護ガスを導入することができます。

サンプルは真空吸着により固定されるため、操作が簡単で、出し入れも簡単です。専用のセンタリングツールを使用すると、サンプルをチャックの中心に正確に配置できるため、偏心振動が低減し、ウェハの破損を防止できます。サンプルサイズに応じて異なるチャックを選択でき、交換も簡単かつ便利です。

このシステムは高精度ブラシレス DC モーターによって駆動され、起動が速く、速度が安定し、コーティングの厚さの一貫性と均一性が確保されます。

主な特徴

1.サンプルは真空吸着によって固定されるため、操作が簡単で、サンプルの採取や配置が便利であり、必要に応じてカスタマイズできます。

2. 上部カバーには紫外線光源が採用されており、その強度は一定の範囲内で調整可能です。

3. 注入口は上部カバーの中央にあり、ゴム製のプラグが装備されています。これは、チャンバーに密閉環境が必要な場合に適用されます。

4. チャンバー内のガス入口穴は保護ガスに接続するために使用されます。

5. モーター部とUVライト制御部は独立して制御されます。モーター速度制御システムはシングルボードコンピュータとLCDスクリーンによって制御され、数値表示はより直感的で信頼性に優れています。UVライトは、強力な耐干渉性を備えたPLCコントローラによって制御されます。

6. この機械のコーティング速度は 500 ～ 1000 回転数 です。12 グループのプログラムを保存でき、各プログラム グループには 6 つの動作段階が含まれており、各段階の動作パラメータを個別に設定して速度を限界までゆっくりと上げることができます。これにより、サンプル表面に均一なフィルムが形成され、無駄があまり発生しません。

7. UV真空スピンコーターは起動が速く、回転速度が安定しているため、フィルムの厚さの均一性と一貫性を確保できます。

8.設置構造には衝撃吸収対策が施されており、運転時の騒音を低減します。

9. チャンバーは、化学腐食と優れた応力亀裂に対する耐性を向上させるために、より長い耐用年数を持つPP材料で作られており、機械本体は耐久性があり軽量な鋳造アルミニウム構造を採用しています。

T技術的パラメータ

標準付属品

いいえ。	名前	量	画像リンク
1	真空吸盤（Oリング付き）（Ø19mmおよびØ60mm）	2
2	センターロケーター	1
3	オイルフリー真空ポンプ	1

オプションアクセサリ

いいえ。	名前	機能カテゴリ	画像リンク
1	その他のサイズの真空カップ	（オプション）
2	家庭用ピペットガン	（オプション）
3	輸入ピペット	（オプション）

保証

    1 年間限定の永久サポート（不適切な保管条件による錆びた部品は除く）

ロジスティクス