スピンコーター（8K rpm、最大4インチウェーハ）3つの真空チャック付き

VTC-100真空スピンコーターは、標準で3種類のサイズの真空チャックを備えており、サンプルのサイズに応じて異なる真空チャックを選択できます。VTC-100真空スピンコーターは、真空プレート吸着方式でサンプルをサンプルプレートに固定します。速度制御は2段階プログラム制御を採用しています。

ブランド: Shenyang Kejing
製品の産地: 瀋陽、中国
納入時間: 10営業日
供給能力: 50セット

情報

製品紹介

VTC-100真空スピンコーターは、半導体製造、フォトリソグラフィー、表面コーティングなどのプロセスに適しています。操作が簡単で、清掃も容易、コンパクトな設計を特徴としており、主に大学や研究機関の研究室における薄膜作製に使用されています。

試料固定には真空チャック方式を採用し、試料の出し入れが容易になり、従来の煩雑な操作手順を簡素化しました。ポリプロピレン製の3種類の真空チャック（φ25mm、φ50mm、φ100mm）を標準装備しており、シリコンウェーハなど様々なサイズの材料へのコーティングに適しています。

内部電源システムは、モーター部と制御部を分離し、それぞれ独立した電源を備えています。速度制御システムには、干渉に強いマイクロコントローラを採用し、1000～8000rpmの範囲で安定した回転を実現しています。スピンコーターは素早く起動し、安定した速度を維持することで、膜厚の均一性と安定性を確保します。さらに、設置構造には防振対策が施されており、運転中の安定性が向上し、騒音も低減されています。

主な特徴

1. 速度は 2 段階プログラムによって制御されます。最初の低速段階で接着剤が注入され、2 番目の高速段階で接着剤が平坦化されます。

2. サンプルは真空吸着により固定されるため、操作が簡単で、サンプルの取り出しや配置が便利です。

3.鋳造アルミニウム構造、安定した動作と低騒音

4. モーターとコントローラーの電源は独立して供給されます。

5. 速度調整は、耐干渉性の高いシングルチップコンピュータによって制御され、速度は 1000 ～ 8000 rpm の範囲内で非常に安定しています。

6. LEDデジタルディスプレイ、スピンコーティングカウントダウン表示機能付き

7. オイルレス平行棒真空ポンプは、小型、構造が簡単、操作が簡単、メンテナンスが便利、環境汚染がないなどの利点があります。

T技術的パラメータ

製品名	VTC-100 真空スピンコーター
製品モデル	VTC-100
設置条件	1. 温度および湿度: 10 ~ 85%RH (25℃、結露なし) 温度: 0 ~ 45℃。 2. 装置の周囲に強い振動源や腐食性ガスがないこと。 3. 水は不要 4.電気：単相：AC220V 50Hz。 5.ガス：真空負圧（真空ポンプ）排気流量は70L/M以上 6. 作業台：800mm×600ミリメートル×700mmの推奨支持重量は100kg以上（堅固なセメントプラットフォームが望ましい） 7. 換気装置：特別な要件なし
主なパラメータ	1.電源インターフェース：保険付き電源ソケット：AC220 / 110V 50 / 60Hz、保険管の仕様は10A、φ5×20mm 2. 総電力: ≤150W 3. サンプルトレイ（吸盤）：ポリプロピレン製真空吸盤 Φ25mm φ50mm φ100mm 各1個 4. 動作モード：反時計回り回転、2段階の動作 5.コーティング速度：SPD1速度：500〜8000rpm有効 SPD2速度: 500～8000 rpm有効 6.コーティング時間：T1時間：1〜600秒有効 T2時間: 1～600秒有効 7. 速度安定性: ±1% 8.制御モード：PCBシングルチップマイクロコンピュータ、ボタン制御、デジタルチューブディスプレイ
	9. 製品仕様： · 寸法：380mm×260mm×330mm · 重量: 12kg

S標準アクセサリー

いいえ。	名前	数量	写真
1	真空チャック（PP、Ø25mm、Ø50mm、Ø100mm）	各1個
2	インジェクター/シリンジ	1個
3	オイルレス真空ポンプ	1個

ザオプションアクセサリ

いいえ。	名前	機能型	写真
1	特殊真空チャック（PTFE、アルミニウム合金）	（オプション）	-
2	マイクロサイズチャック	（オプション）
3	フィルター（真空ポンプ用）	（オプション）	-
4	ピペット（中国製）	（オプション）
5	ピペット（輸入品）	（オプション）
6	サンプルクランププレート	（オプション）