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卓上真空レススピンコーター
VTC-50Aスピンコーターは、モーター部と制御部に独立した電源システムを採用し、速度制御システムには干渉防止の高いシングルチップマイコンを採用して制御するため、回転速度は1000回転の範囲で非常に高速で安定しています。 -8000RPM。コーターは動作中に 2 つのステージ、つまり低速時の T1 ステージと高速時の T2 ステージから構成されます。
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スピンコーター（8K 回転数、最大4インチウェーハ）3真空チャック付き
VCTC の-100 真空スピンコーターには、異なるサイズの 3 つの真空チャック (標準) が装備されており、サンプルのサイズに応じて異なる真空チャックを使用できます。作業中、VCTC の-100 真空スピンコーターは真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレートに固定します。この装置は 2 段階プログラムを使用して速度を制御します。
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コンパクトスピンコーター（8K 回転数、最大4インチウェーハ）ローチャック設計
VCTC の-100B 真空スピンコーターは、VCTC の-100 真空スピンコーターのアップグレード版です。上部カバーは折り畳んで開閉でき、安全ロックが装備されています。同時に、カバー開放保護機能も備えており、オペレーターの安全性をより確実に保証します。
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プログラム可能な真空チャック スピン コーター (500 ～ 6000 回転数、最大 8 インチ)
VCTC の-200 真空スピンコーターは、操作が簡単、洗浄が便利、サイズが小さいという利点があります。主に大学や科学研究機関の研究室でのフィルム成長プロセスで使用されます。 VCTC の-200真空スピンコーターは作業中、真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレート上に固定します。この装置は2段階のプログラムで速度を制御します。
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