真空加熱スピンコーター

VTC-100PAD真空加熱コーティング機の紹介：

VTC-100PAD真空加熱コーティング装置は、半導体、結晶、光学部品、印刷版などの材料を用いた表面コーティングおよび薄膜作製プロセス向けに設計されています。

この薄膜作製装置は、強酸や強塩基を含む腐食性コーティング溶液に対応しており、幅広い複雑なプロセス要件を満たします。標準装備として、加熱機能を内蔵した3インチのアルミニウム製真空チャックが付属しています。さらに、様々なサンプルサイズに対応できるよう、各種仕様のチャックをカスタマイズすることも可能です。

運転中、サンプルは真空吸着によってサンプルホルダーに固定され、運転の安定性と正確な位置決めが確保されます。本システムはマルチセグメントプログラマブル制御に対応しており、各プログラムは6つの異なる運転段階で構成されています。これにより、回転速度の段階的な調整とスムーズな加速が可能となり、サンプル表面の薄膜の均一性を効果的に向上させると同時に、材料の無駄を最小限に抑えることができます。

この装置は、コンパクトな構造、操作の容易さ、そして清掃とメンテナンスの簡便さを特徴としており、薄膜作製や材料研究などの用途で、大学、研究機関、関連研究所などで広く利用されています。

小型スピンコーターの技術仕様：

製品名	VTC-100PAD 真空加熱コーティング装置（実験室用スピンコーター）
製品モデル	VTC-100PAD
薄膜作製装置の設置要件	1. 温度と湿度：10～85％RH（25℃、結露なし）、温度：0～45℃。 2. 機器の周囲は、強い振動源や腐食性ガスがない場所でなければなりません。 3. 水：機器には排水口が備えられています。 4. 電源：単相交流220V、50Hz；標準3ピンソケット（10A）；適切に接地する必要があります。 5. ガス：真空（真空ポンプによる）、排気流量は70 L/分以上（本装置は、保護用不活性ガス（例：ArまたはN2）の導入にも対応しています）。 6. 作業台：推奨寸法：800 × 600 × 700 mm、耐荷重：50 kg（頑丈なコンクリート製の作業台が望ましい）。 7. 換気：特別な要件はありません。
薄膜作製装置の主なパラメータ	1. 真空加熱コーティング機の電源：AC 220V、50Hz
	2. コーティングチャンバー（材質）：PTFE（ポリテトラフルオロエチレン）
	3．サンプルホルダー（真空チャック）：3インチアルミ製真空チャック×1個（その他のサイズはご要望に応じてご用意できます）
	4. 動作モード：1つのプログラムセットが含まれています。各セットは6つの異なる動作段階で構成されています。
	5. コーティング速度：500 rpm～10,000 rpm（有効範囲）、速度増分：100 rpm。
	6. コーティング時間：各段階の時間範囲：1～9999秒。
	7. 速度安定性：±1%
	8. 制御システム：PLCプログラマー＋タッチスクリーンインターフェース
	9．加熱方式：抵抗線加熱方式。加熱制御は本体の制御システムに統合されています。
	10. 加熱温度：室温（RT）～100℃。最大加熱時間は9999秒まで設定可能。温度制御は、プログラムされたシーケンスと連動して動作するように設定することも、専用の温度作動キーを使用して独立して動作するように設定することもできます。
	11. 加熱電力：AC 220V、150W；温度制御精度：±5℃。
	12．薄膜作製装置の仕様： ・寸法：450mm×280mm×340mm ・重量：20kg
コンプライアンス	CE認証、UL認証、またはCSA認証は追加料金で取得可能です。

真空加熱コーティング機の標準付属品：

いいえ。	名前	量	画像リンク
1	3インチ真空チャック（インチ規格）	1ユニット
2	センターアライナー（アライメントポスト4本付き）	1ユニット
3	ドロッパー	1ユニット
4	オイルフリー真空ポンプ	1ユニット

真空加熱コーティング機のオプション付属品：

いいえ。	名前	機能カテゴリ	画像リンク
1	輸入ピペット	（任意）
2	家庭用ピペット	（任意）
3	真空吸盤（その他のサイズ）	（任意）

薄膜作製装置の主な特長：

・この実験室用スピンコーターは、真空吸着を利用してサンプルを固定し、簡単な操作と確実な位置決めを実現し、真空度は-0.08 MPaに達します。

・実験室用スピンコーターには、サンプルを素早く中央に配置できるサンプル位置決めツールが装備されており、偏心による振動やサンプル排出の問題を軽減します。

・小型スピンコーターは、さまざまなサンプルサイズに合わせて、さまざまな仕様の真空チャックを取り付けることができます。これらのチャックには加熱機能が内蔵されており、簡単に交換できます。

・24V DCブラシレスモーターを採用し、スムーズな動作、低騒音、最小限の振動を実現しています。安定した起動と加速性能により、成膜厚さの均一性と一貫性を効果的に保証します。

・実験室用スピンコーターは、シンプルな構造、コンパクトな設置面積、容易なメンテナンス、および油汚染がないことを特徴とする、オイルフリーの二気筒真空ポンプを搭載しています。

・コーティングチャンバーはポリテトラフルオロエチレン（PTFE）製で、強酸・強塩基に対する優れた耐性、応力亀裂に対する高い耐性、そして長い耐用年数を実現しています。真空加熱コーティング機の本体は鋳造アルミニウム構造を採用しており、堅牢性と軽量性を兼ね備えています。

・実験室用スピンコーターシステムは、不活性ガス雰囲気（例えば、ArまたはN₂）内で実施される薄膜作製プロセスをサポートします。

・実験室用スピンコーターは、タッチスクリーンインターフェースと組み合わせたPLC制御システムを搭載しており、直感的なパラメータ表示と便利で信頼性の高い操作を実現します。・薄膜作製装置には、蓋開閉安全保護機能が搭載されています。運転中に上蓋が開いた場合、装置は自動的に減速して完全に停止するため、操作の安全性が向上します。

実験室用スピンコーターの用途：

ペロブスカイト太陽電池：その場加熱による結晶化の最適化。

半導体ウェハ：フォトレジストコーティングおよび表面処理。

光学コーティング：多層フィルターおよび反射防止コーティング。

生体材料：バイオセンサー用機能性薄膜コーティング。

マイクロ流体工学：チャネルコーティングとPDMS処理。

薄膜作製装置に関するよくある質問：

Q：この真空加熱コーティング装置はグローブボックス内で使用できますか？

A：はい、そのコンパクトなサイズと真空／ガスポート設計により、Ar／N2グローブボックス環境に最適です。

Q：処理できる最大基板サイズはどれくらいですか？

A：標準ユニットには3インチのチャックが付属していますが、様々な形状やサイズに対応した特注の真空チャックもご用意しております。

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