真空・雰囲気制御スピンコーター

VTC-200PV真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。VTC-200PV真空スピンコーターのチャンバー内は真空引きされ、完全な真空状態でサンプルをコーティングできるため、空気中で酸化・劣化しやすいフィルム材料に適しています。チャンバー内を真空引きする際は、クランプでサンプルを固定します。本装置は12セットのプログラムを保存でき、各セットには6つの実行ステージが含まれています。

ブランド: Shenyang Kejing
製品の産地: 瀋陽、中国
納入時間: 10営業日
供給能力: 50セット

情報

製品紹介

VTC-200PV真空スピンコーターは、半導体、結晶、光ディスク、リソグラフィー、および関連アプリケーションにおける表面コーティングプロセス向けに設計されています。強酸または強アルカリ溶液を用いたコーティングの準備に適しています。

このシステムはコーティングチャンバーを真空状態にすることができ、サンプルを完全な真空状態でコーティングすることができます。この機能は、空気中で酸化または劣化しやすい薄膜材料に特に適しています。真空状態では、サンプルはサンプルチャックによって固定されます。

真空排気を使用しない場合、サンプルは真空吸着によって基板ホルダーに保持されます。システムは最大12個のプログラムを保存でき、各プログラムには6つのシーケンシャルステージが含まれています。各ステージには異なる回転速度を設定でき、コーターは徐々に最高速度まで加速します。これにより、材料の無駄を最小限に抑えながら、サンプル表面への均一な薄膜形成を実現します。

VTC-200PV 真空スピンコーターは、操作が簡単、清掃が便利、コンパクトな設計などの利点があり、大学や研究機関の研究室で薄膜製造に広く使用されています。

主な特徴

1. 本装置は12セットのプログラムを保存でき、各セットには6つの運転段階が含まれます。各段階の加減速速度の設定範囲は100rpm/s～2000rpm/s、各段階の時間範囲は0～60秒です。

2.サンプルは真空吸着により固定されますが、接着やクランプによる固定も可能で、操作が簡単です。

3.真空度は-0.08MPaまで達します。

4. 位置決めツールを使用してサンプルを簡単に中央に配置することができ、位置ずれによる振動や飛び出しを軽減できます。

5. サンプルの仕様に応じて異なるチャックを使用でき、交換が便利で簡単です。

6. 24VブラシレスDCモーターを採用しており、信頼性が高く、適応性が強く、修理とメンテナンスが簡単で、騒音が少なく、振動が小さく、動作が安定しており、起動が速く安定しており、加速後の動作が安定しており、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できるなどの利点があります。

7. オイルレス平行棒真空ポンプは、サンプルを真空吸着で固定する場合に使用され、小型、構造が簡単、操作が簡単、メンテナンスが便利、環境汚染がないなどの利点があります。

8.コーティングは不活性ガス雰囲気（アル、N2など）で行うことができます。

9. 真空状態でコーティングを行う場合、サンプル基板は接着またはクランプによって固定されます。

10. チャンバーは、化学腐食と優れた応力亀裂に対する耐性を向上させるために、より長い耐用年数を持つ PP 材料で作られており、機械本体は耐久性があり軽量な鋳造アルミニウム構造を採用しています。

11. 英語のオペレーティングシステム

12. カバーオープン保護機能を搭載しています。コーティング工程中またはコーティング終了時にトップカバーが開かれると、機械は直ちに急減速して停止します。

13. コントローラーは、より直感的で信頼性の高い液晶数値ディスプレイ付きのコントロールボックスを採用しています。

T技術的パラメータ

製品名	VTC-200PV 真空スピンコーター
製品モデル	VTC-200PV
設置条件	1. 温度および湿度: 10 ~ 85%RH (25℃、結露なし) 温度: 0 ~ 45℃。 2. 設備の周囲に強い地震源や腐食性ガスがないこと。 3. 水：機器には下水出口が装備されている 4.電気：単相：AC220V 50Hz 10A。 5.ガス：真空負圧（真空ポンプ）排気流量は70L/分以上（装置は保護不活性ガスを通過できる） 6. 作業台：1500mm×600mmを推奨ミリメートル×700mmで100kg以上の荷重に耐えられる（しっかりしたセメント製のプラットフォームが望ましい） 7. 換気装置：特別な要件なし
主なパラメータ（仕様）	1.電源インターフェース：ヒューズ付き電源ソケット：AC220V、50Hz、ヒューズ仕様：10A、φ5×20mm。 2. 総電力: ≤600W (450W 連結オイルフリー真空ポンプを含む)。 3. メインチャンバー（材質）：ポリプロピレン。 4. 基板ホルダー (チャック + 真空チャック): 標準構成: チャック型基板ホルダー 1 個 (2 インチ、3 インチ、4 インチのサンプルに適合) と Ø100 んんポリプロピレン真空チャック 1 個。 5. 動作モード: 最大 12 個のプログラムを保存でき、各プログラムには 6 つの連続ステージが含まれます。 6. 回転速度: 500～6000 回転数 (実効)。 7. ステージごとの加速/減速率：調整範囲：100～2000 回転数/s。 8. ステージあたりの時間：調整範囲：0～60秒。 9.速度安定性：±1％。 10. 制御システム: キーパッド操作と LMC 液晶ディスプレイを備えたプリント基板マイクロコントローラー。 11. 製品の寸法と重量: ・本体：Ø250mm×360mm ・コントロールボックス：330mm×380mm×150mm · 重量: 25 kg 12. サポート機器: · オイルフリー真空ポンプ（サンプル真空吸着用） · 型式: AP-1400C/V、本体連動ソケットより電源供給 · 電圧: AC220V、50/60Hz、2A、0.45kW · 到達真空度: -0.0933 MPa · 排気速度：150 L/分 · 機械式真空ポンプ（コーティング室の真空引き用） · モデル: VRD-8、独立ソケットから電源供給 · 電圧: AC220V、50Hz、2.5A、0.4kW · 到達真空度：5×10⁻² パ · 排気速度: 8 m³/h

S標準アクセサリー

いいえ。	名前	数量	写真
1	真空チャック（φ100mm）	1個
2	クランププレート 2インチ、3インチ、4インチ	1個
3	中央ポジショナー/ロケーター（位置決めスタッド4個を含む）	1個
4	エポキシインジェクター/シリンジ	1個
5	オイルレス真空ポンプ	1個
6	ダブルクリックロータリーベーン真空ポンプ VRD-8	1個

ザオプションアクセサリ

いいえ。	名前	機能型	写真
1	その他の仕様の真空チャック	（オプション）
2	ピペット（中国製）	（オプション）
3	ピペット（輸入品）	（オプション）
4	VRD-16 機械式ポンプ	（オプション）