10000 回転数超高速スピンコーター

VTC-100PAX真空スピンコーターは、高性能で精密な接着剤塗布装置です。先進的な設計コンセプトを採用し、精密なモーションコントロールシステムと連携することで、高精度かつ均一な接着剤塗布を実現します。6つのプログラムグループを保存でき、各プログラムは9ステップまで設定できます。速度、加速度、回転時間など、すべての動作パラメータは装置上で簡単に設定できます。

ブランド: Shenyang Kejing
製品の産地: 瀋陽、中国
納入時間: 22営業日
供給能力: 50セット

情報

製品紹介

VTC-100PAX真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、リソグラフィー、および関連アプリケーションにおける表面コーティング前処理用に設計されています。高性能精密スピンコーターであるVTC-100PAXは、高度な設計コンセプトと精密なモーションコントロールシステムを組み合わせることで、高精度かつ均一なコーティング処理を実現します。

本システムは、9つのシーケンシャルステージを含む6つのプログラムを保存できます。各ステージのパラメータは個別に設定でき、コーターは徐々に最高速度まで加速します。これにより、材料の無駄を最小限に抑えながら、サンプル表面への均一な薄膜形成を実現します。

チャンバーはポリプロピレン製で、優れた耐熱性、電気絶縁性、耐摩耗性を備えています。チャンバー自体は真空にすることはできません。動作中は、ローターシャフトのガスラインを介して外部真空ポンプに接続された真空チャックによってサンプルが基板ホルダーにしっかりと保持されます。この構成により、操作が容易になり、サンプルの出し入れも容易です。チャックの真空度は最大-0.08 MPaに達します。

回転スピンドルは高速ブラシレスDCモーターで駆動され、低騒音、低振動、スムーズな動作、高い信頼性、優れた適応性、そして容易なメンテナンスを実現します。モーターは始動が速く、加速後も安定した動作をするため、均一で安定したコーティング膜厚を実現します。

VTC-100PAX 真空スピンコーターは、操作が簡単、清掃が簡単、コンパクトな設計などの利点があり、大学や研究機関の研究室で薄膜製造に広く使用されています。

T私物理パラメータ

製品名	VTC-100PAX 真空スピンコーター
製品モデル	VTC-100PAX
設置条件	1. 温度および湿度: 10 ~ 85%RH (25℃、結露なし) 温度: 0 ~ 45℃。 2. 装置の周囲に強い振動源や腐食性ガスがないこと。 3. 水：機器には下水出口が装備されている 4.電気：単相：AC220V 50Hz 10A。 5.ガス：真空負圧（真空ポンプ）：0.06～0.09Mpa 6. 作業台：800mm×600ミリメートル×700mmの推奨支持重量は50kg以上（堅固なセメントプラットフォームが望ましい） 7. 換気装置：特別な要件なし
主なパラメータ	1.電源インターフェース：保険付き電源ソケット：AC220V 50Hz、保険管の仕様は10A、φ5×20mm 2. 総電力:≤150W (外部真空ポンプを除く) 3. コーティングホストキャビティ（材質）：ポリプロピレン 4.サンプルトレイ（吸引カップ）：ポリプロピレン製真空吸引カップ：1インチ（φ25サンプルに適用）、3インチ（φ76サンプルに適用）各 5. 動作モード: 6セットのプログラムを保存でき、各セットのプログラムには9つの動作段階が含まれています。 6.コーティング速度：500～10000rpm（有効） 7.加減速率：増減速速度設定範囲：100～2000rpm 8.コーティング時間：各セクションの時間範囲：0～999秒 9. 速度安定性: ±1% 10.制御モード：PCBシングルチップマイクロコンピュータキー制御LMC LCDディスプレイ
製品の寸法と重量	11. 製品仕様・寸法：幅270mm×奥行430mm×高さ400mm · 重量: 12kg