耐腐食スピンコーター (6K 回転数 &アンプ ; 6 インチウェハー最大)

ブランド Shenyang Kejing

製品の産地瀋陽、中国

納入時間 10営業日

供給能力 50セット

VTC
-200P 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。チャンバー上部のカバーはサンプルを加熱することができます（オプション機能）。これは、高粘度の薄膜材料のコーティングプロセスに有益です。

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耐腐食スピンコーター (6K 回転数 &アンプ ; 6 インチウェハー最大)

主な特徴

1. この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれます。各段階の加減速度設定範囲：100rpm/s～2000rpm/s、各段階の時間範囲：0～60s

2. サンプルの固定は真空吸着方式なので操作が簡単です。

3. 真空度は-0.08MPaまで可能です。

4. 位置決めツールを使用してサンプルを簡単に中心に合わせることができ、位置ずれによる振動や飛び出しを軽減します。

5. サンプルの仕様に応じて異なるチャックを使用でき、交換が便利で簡単です。

6. 24V ブラシレス直流モーターが採用されており、高い信頼性、強力な適応性、簡単な修理とメンテナンス、低騒音、小さな振動、安定した動作、高速で安定した起動、加速後の安定した動作という利点があり、一貫性と安定性を確保します。コーティングの厚さの均一性。

7. 本機はグローブボックス内でも使用できますが、制御部と真空ポンプはボックスの外に設置してください。

8. 不活性ガス雰囲気(アル、N2など)でのコーティングが可能です。

9.オイルレス平行棒真空ポンプは、小型、シンプルな構造、簡単な操作、便利なメンテナンス、および環境汚染がないという利点があります。

10. チャンバーは耐化学腐食性と優れた応力亀裂に対する耐性を向上させるために長寿命の PP 材料で作られ、機械本体は耐久性と軽量の鋳造アルミニウム構造を採用しています。

11. 英語のオペレーティングシステム

12. オープンカバー保護の機能があります。塗装中または塗装終了時にトップカバーを開けると、機械は直ちに急減速して停止します。

13.コントローラーは、より直観的で信頼性の高いLCD数値表示を備えた単一のコントロールボックスを採用しています。

T技術的パラメータ

商品名	VTC -200P 真空スピンコーター
製品モデル	VTC -200P
設置条件	本装置は標高1000m以下、温度25℃±15℃、湿度55%Rh ±10%Rhの環境で使用してください。 1.水：水の入口と出口が装備されています 2. 電気: AC220V 50Hz、適切な接地が必要です。 3番目のガス: N/A 4. 作業台：サイズ600mm×600mm×700mm、耐荷重50kg以上 5. 換気装置: 必要
主なパラメータ（仕様）	1.電源: 220V 50HZ 2.モーター出力: 360W/24V 3. 速度範囲: 500rpm-6000rpm 調整可能 4. プログラム操作: 12 グループのプログラムを保存でき、各グループには 6 つの実行ステージが含まれます。 5.各段階の加減速度の設定範囲：100rpm/s～2000rpm/s、各段階の時間範囲：0～60s。 6. チャックサイズ：φ100mm 7. 機械には加熱機能を装備できます。 &注意 ; &注意 ;※加熱範囲：RT ～100℃ &注意 ; &注意 ;※上部カバー、シンク・水タンクはPP製です。 &注意 ; &注意 ;※温度はホストプログラム制御とは関係なく、独立したコントローラーを使用しています
製品の寸法と重量	寸法：φ250mm×360mm 重さ：20kg

S標準付属品

いいえ。	名前	数量	写真
1	真空チャック（φ100mm）	1個
2	Oリング	1個	-
3	セントラルポジショナー/ロケーター (位置決めスタッド 4 個を含む)	1個
4	エポキシインジェクター/シリンジ (20ml)	1個
5	インジェクター/シリンジブラケット	1個	-
6	オイルレス真空ポンプ	1個

○オプションのアクセサリ

いいえ。	名前	機能型	写真
1	その他仕様の真空チャック	(オプション)
2	ピペット（中国製）	(オプション)
3	ピペット（輸入品）	(オプション)