耐腐食スピンコーター (6K 回転数 & 6インチウェーハ最大)
VTC-200P真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。本装置は12セットのプログラムを保存でき、各セットには6つの実行ステージが含まれています。チャンバー上部のカバーはサンプルを加熱する機能（オプション機能）を備えており、高粘度の薄膜材料のコーティングプロセスに有効です。
- Shenyang Kejing
- 瀋陽、中国
- 10営業日
- 50セット
- 情報
製品紹介
VTC-200P真空スピンコーターは、半導体、結晶、光ディスク、リソグラフィー、および関連アプリケーションにおける表面コーティングプロセス向けに設計されています。強酸または強アルカリ溶液を用いたコーティングの準備に適しています。
チャンバー自体は真空にできませんが、動作中はサンプルは真空チャック吸着によって基板ホルダーに固定されます。システムは最大12個のプログラムを保存でき、各プログラムには6つのシーケンシャルステージが含まれています。各ステージには異なる回転速度を設定でき、コーターは徐々に最高速度まで加速します。これにより、材料の無駄を最小限に抑えながら、サンプル表面への均一な薄膜形成を実現します。
チャンバーの上部カバーにはオプションで加熱機能を装備することができ、高粘度のフィルム材料のコーティングを容易にします。
VTC-200P 真空スピンコーターは、操作が簡単、清掃が便利、コンパクトな設計などの利点があり、大学や研究機関の研究室で薄膜製造に広く使用されています。
主な特徴
1. 本装置は12セットのプログラムを保存でき、各セットには6つの運転段階が含まれます。各段階の加減速速度の設定範囲は100rpm/s～2000rpm/s、各段階の時間範囲は0～60秒です。
2.サンプルは真空吸着によって固定されるため、操作が簡単です。
3.真空度は-0.08MPaまで達します。
4. 位置決めツールを使用してサンプルを簡単に中央に配置することができ、位置ずれによる振動や飛び出しを軽減できます。
5. サンプルの仕様に応じて異なるチャックを使用でき、交換が便利で簡単です。
6. 24VブラシレスDCモーターを採用しており、信頼性が高く、適応性が強く、修理とメンテナンスが簡単で、騒音が少なく、振動が小さく、動作が安定しており、起動が速く安定しており、加速後の動作が安定しており、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できるなどの利点があります。
7. 本機はグローブボックス内で使用できますが、制御部と真空ポンプはグローブボックスの外側に設置する必要があります。
8.コーティングは不活性ガス雰囲気（アル、N2など）で行うことができます。
9. オイルレス平行棒真空ポンプは、小型、構造が簡単、操作が簡単、メンテナンスが便利、環境汚染がないなどの利点があります。
10. チャンバーは、化学腐食と優れた応力亀裂に対する耐性を向上させるために、より長い耐用年数を持つ PP 材料で作られており、機械本体は耐久性があり軽量な鋳造アルミニウム構造を採用しています。
11. 英語のオペレーティングシステム
12. カバーオープン保護機能を搭載しています。コーティング工程中またはコーティング終了時にトップカバーが開かれると、機械は直ちに急減速して停止します。
13. コントローラーは、より直感的で信頼性の高い 液晶 数値ディスプレイを備えた単一のコントロール ボックスを採用しています。
T技術的パラメータ
製品名 | VTC-200P 真空スピンコーター | |
製品モデル | VTC-200P | |
設置条件 | 1. 温度および湿度: 10～85%RH (25℃、結露なし)。温度: 0～45℃。 2. 環境: 機器の近くに強い振動源や腐食性ガスがないこと。 3. 水：装置には排水口が備え付けられています。 4.電源：単相AC220V、50Hz10A。 5. 空気供給：真空負圧（真空ポンプ）、排気速度70 L/分以上。システムは保護用不活性ガスに接続することもできます。 6. 作業台：推奨サイズ 800mm × 600mm × 700 んん、耐荷重 ≥ 100 kg（頑丈なコンクリート製のテーブルが望ましい）。 7. 換気: 特別な要件はありません。 | |
主なパラメータ （仕様） | 1. 電源インターフェース：ヒューズ付き電源ソケット：AC220V、50Hz。ヒューズ仕様：10A、φ5×20mm（AC110V 50/60Hzのカスタマイズ可能）。 2. 総電力:≤150W (外部真空ポンプを除く)。 3. メインチャンバー（材質）：ポリプロピレン。 4.基板ホルダー（真空チャック）：Ø100mmポリプロピレン製真空チャック×1（加熱機能付きの場合はPTFE製）。 5. 動作モード: それぞれ 6 つの連続ステージを持つ 12 個のプログラムを保存できます。 6. 回転速度: 500 回転数 – 6000 回転数。 7. 加速/減速率：段階ごとの調整範囲：100 回転数～2000 回転数。 8. コーティング時間：段階ごとに調整可能な範囲：0～60秒。 9.速度安定性：±1％。 10. 制御システム: キーパッド操作と LMC 液晶 ディスプレイを備えた プリント基板 マイクロコントローラー。 11. 加熱方法: 標準構成には含まれていません (オプションの加熱機能が利用可能で、独立した温度制御システムを備えており、メイン コントローラーと統合されていません)。 12.加熱温度：カスタマイズ可能な温度範囲、RT～100℃（上限）。 13.加熱電力：AC220V、1000W。 14.温度制御精度：±2℃。 | |
15. 製品仕様： ・ 寸法： · 本体：φ250mm×360mm ・コントロールボックス：330 んん × 380 んん × 150 んん · 重量：15kg |
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S標準アクセサリー
いいえ。 | 名前 | 数量 | 写真 |
1 | 真空チャック（φ100mm） | 1個 | |
2 | Oリング | 1個 | - |
3 | 中央ポジショナー/ロケーター（位置決めスタッド4個を含む） | 1個 |
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4 | エポキシインジェクター/シリンジ（20ml） | 1個 |
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5 | インジェクター/シリンジブラケット | 1個 | - |
6 | オイルレス真空ポンプ | 1個 |
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ザオプションアクセサリ
いいえ。 | 名前 | 機能型 | 写真 |
1 | その他の仕様の真空チャック | （オプション） | |
2 | ピペット（中国製） | （オプション） | |
3 | ピペット（輸入品） | （オプション） |
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保証
· 1年間限定の永久サポート（不適切な保管条件による錆びた部品は除く）
ロジスティクス
