3ターゲットプラズマスパッタリングコーターの詳しい使い方
3ターゲットプラズマスパッタリングコーターは、材料科学、物理学研究などの分野で広く使用されているハイテクデバイスです。ユーザーがこのデバイスを正しく効果的に使用できるように、詳細な使用方法は次のとおりです。
I. 装備の準備:
1. 使用する前に、3ターゲットプラズマスパッタリングコーター静電気による干渉を防ぐために適切に設置および接地されています。
2. デバイスのすべての接続がしっかりと固定され、損傷がないことを確認します。
3. デバイスの電源をオンにして予熱します。これには通常約 10 ～ 15 分かかります。
Ⅱ. 操作プロセス:
1. サンプルを配置する: 処理するサンプルを装置の指定された位置に置き、サンプルがしっかりと固定されていることを確認します。
2. パラメータを設定する: 実験要件に応じて、適切なスパッタリング電力、時間、ガス流量、その他のパラメータを設定します。
3. スパッタリングの開始: スタートボタンを押すと、デバイスがスパッタリングを開始します。このプロセス中は、デバイスの状態に細心の注意を払い、すべてが正常であることを確認してください。
4. スパッタリング終了：設定されたスパッタリング時間に達すると、装置は自動的に停止します。この時点で、サンプルを取り出して次の処理を行うことができます。
Ⅲ. 注意事項:
1. 使用中は、飛散による傷害を防ぐために必ず専門の保護メガネと手袋を着用してください。
2. スパッタリング処理中に機器の故障や安全上の問題などの異常事態が発生した場合は、直ちに緊急停止ボタンを押し、専門家に連絡して点検と修理を依頼してください。
3. 長期にわたる安定した動作を確保するために、定期的に機器のメンテナンスとサービスを実施します。
上記の手順と注意事項に従うことで、ユーザーは安全かつ効果的に3ターゲットプラズマスパッタリングコーター実験や研究に。正しい使用方法を習得することで、機器を保護するだけでなく、実験結果の正確性と信頼性を確保することができます。