PTL 翻訳-NMB ナノメートルグレードサーモスタティックディップコーターを使用してシリコンウェーハをコーティングする方法は?
で モダンな 材料 研究 そして 半導体 製造業, 薄い 膜 準備 そして コーティング テクノロジー は 重要な. 特に で の 分野 の 薄い 膜 コーティング と ナノメートル 精度, PTL 翻訳-NMB ナノメートル 学年 サーモスタット 浸漬 コーター, として a 精度 装置, もっている なる の 重要 道具 で 研究 そして 工業用 アプリケーション. これ 記事 意思 導入 で 詳細 どうやって に 使用 PTL 翻訳-NMB ナノメートル 引き手 に コート シリコン ウエハース.
の 主要 目的 の これ 実験 は に 使用 ナノメートル 学年 サーモスタット 浸漬 コーター&注意;に コート シリコン ウエハース の上 両方 側面 そして 観察する の 沈着 の 薄い 映画 の上 の 表面 の シリコン ウエハース. として の 重要 基板 で 半導体 研究, の 品質 の の 表面 コーティング の シリコン ウエハース 直接 影響する の その後 プロセス 効果. したがって, の 使用 の 正確に 制御された コーティング 方法, そのような として ナノメートル 引く コーター, できる 作る の コーティング 制服 そして 正確な.&注意;
実験的 手順:
1. シリコン ウェハー クリーニング:
前に の 実験 始まる, の シリコン ウェハー ニーズ に なれ 徹底的に 掃除した. 浸す の シリコン ウェハー で 脱イオン 水 に 保つ の サンプル 表面 無料 の 外部の 汚染物質. それから, 取り除く の 水 汚れ と アセトン, クリーン それ 徹底的に と 脱イオン 水, そして 使用 PCE-6V プラズマ クリーナー に プラズマ エッチング の シリコン ウェハー のために 10 分. 後 エッチング, の シリコン ウェハー すべき 避ける いる 露出 に の 空気 のために もっと よりも 30 分, さもないと の 表面 州 5月 失敗 そして 影響する の 接着 の の 膜.
2. パラメータ 設定:
注ぐ の 液体 材料 の中へ a 150ml 材料 カップ そして マウント の シリコン ウェハー の上 の サンプル 備品 に 準備する のために コーティング. で の 実験, の シリコン ウェハー は 初め 完全に 浸る で の 解決. それから, の 引っ張る スピード は セット に 100nm/s そして の 引っ張る 身長 は セット に 50mm の上 の ナノメートル 学年 サーモスタット 浸漬 コーター. によると に 計算, の 全体 引っ張る プロセス かかる について 139 時間.
3. コーティング プロセス:
その間 の コーティング プロセス, の シリコン ウェハー は 制御された による の 引き手, そして の 解決 は 徐々に 引っ張られた 外 から の 表面 の の 基板 に 形状 a 制服 膜. なぜなら の 働く スピード の の 引き手 は とても 大丈夫, の 沈着 プロセス の の 膜 は とても 安定した, そして の 膜 ついに コーティングされた の上 の 表面 の の シリコン ウェハー もっている 良い 均一 そして 一貫性.
による 使用して の ナノメートル 学年 サーモスタット 浸漬 コーター, 研究者 できる 正確に コート の 表面 の の シリコン ウェハー の上 両方 側面 そして コントロール の 厚さ そして 品質 の の 膜. の 実験的な 結果 見せる それ その間 の コーティング プロセス, の 沈着 の の 膜 は 制服 そして 会う の ナノメートル-レベル 精度 要件, 作る それ 適切な のために 研究 の上 半導体 そして ナノマテリアル.