スピンコーターの動作原理、特徴、用途
グルーディスペンサーは、グルースピナー、スピンコーターとも呼ばれ、主にウェーハにフォトレジストを塗布したり、ゾルゲル実験に使用したりするフィルムコーティング装置として使用されます。スピンコーターの基本原理は、高速回転する基板にさまざまな接着剤を滴下し、遠心力を利用して接着剤を基板に均一に塗布することです。フィルムの厚さは、接着剤の粘度、接着剤液と基板間の粘性係数、回転速度、スピンコーティング時間に関係しています[1]。一般に、速度が2000rpmを超えると、ほとんどの接着剤を均一に分散でき、スピンドル速度の安定性と再現性が、フィルムの厚さの均一性と一貫性を決定する鍵となります。
スピンコーターは、主にマイクロ電気機械システム、生物学、材料、半導体、製版、新エネルギー、薄膜、光学、表面コーティングなどの微細加工、およびディップコーティングやフィルムスクレーピングではコーティングできない基板のサンプルのコーティングの分野で使用されています。サンプルを固定する方法は通常、真空チャックと溝付きサンプルプレートの2つです。真空チャックでサンプルを固定するには真空装置が必要です。真空チャックは、表面が滑らかで、平坦度が高く、真空吸引下で変形しない基板を固定するのに適しています。溝付きサンプルプレートは、柔らかく、サイズが大きく、不規則な形状の基板を固定するために使用されます。
スピンコーターのモデルと特徴:
VCTC の-50Aスピンコーターは、干渉防止性能の高いシングルチップコンピューターで制御され、回転速度は最大1000〜8000RPMの範囲で非常に安定しています。コーティングには2つの作業段階があります。T1低速段階では、フィルム液が徐々に分散され、接着剤注入のプロセスが完了します。一方、T2高速段階では、フィルム液が基板の表面に均一に広がり、均一な厚さのフィルムを形成し、接着剤の均一化プロセスが完了します。溝付きPPサンプルプレートを使用して基板を固定します。基板の形状とサイズに応じて、テンプレート（スピンコーターと一緒に配送されます）にさまざまな形状とサイズの溝を開けることができます。使いやすく、操作が簡単で、基板を損傷しません。固定できるサンプルの最大サイズは55mm×55mmです。
VCTC の-100真空スピンコーターには、標準で3つの異なるサイズの真空チャックが付属しています。基板は真空チャック吸着によって固定され、装置は2段階プログラムを使用して速度を制御します。コーティングには2つの作業段階があります--接着剤注入用のT1低速段階と接着剤レベリング用のT2高速段階です。フィルムレベリング後、真空ポンプは機械が完全に停止するまで一定時間動作し続け、フィルムコーティングの全プロセスが終了します。速度範囲：500〜8000rpm、吸着できるサンプルの最大サイズはφ100mmです。
VCTC の-200 真空スピンコーターは、真空チャック吸着を使用してサンプルを固定します。この装置は、接着剤注入用の T1 低速ステージと接着剤レベリング用の T2 高速ステージの 2 段階プログラムを使用して速度を制御します。フィルムレベリング後、真空ポンプは機械が完全に停止するまで一定時間動作し続け、フィルムコーティングの全プロセスが終了します。速度範囲: 500-8000rpm、吸着できるサンプルの最大サイズは φ200mm です。
VCTC の-100PA真空スピンコーターは、強酸および強アルカリコーティング溶液のコーティングフィルムの製造に使用できます。この装置には、サンプルを固定するための異なるサイズの真空チャックが2つ標準装備されています。装置は12セットのプログラムを保存でき、各セットのプログラムには6つの実行ステージが含まれています。装置の回転速度は各操作ステージで異なり、限界速度までゆっくりと上昇します。これにより、サンプル表面のフィルムの均一性が促進され、コーティング材料が節約されます。速度範囲：500rpm-10000rpm、吸着できるサンプルの最大サイズはφ100mmです。（トップカバー加熱スピンコーターはカスタマイズできます。）
VCTC の-100PA-紫外線 UVスピンコーターのチャンバーはPP製で、強酸や強アルカリ溶液に使用できます。この機械の上部カバーには紫外線照射機能があり、紫外線に敏感な接着剤に適しています。チャンバーには空気取り入れ口が装備されており、接着剤のレベリングプロセス中に保護ガスを投入できます。サンプルは真空吸着によって固定されます。特別なセンタリングツールを装備しているため、サンプルを真空チャックの中央に簡単に配置でき、偏心による振動を減らし、外れないようにすることができます。速度範囲：500rpm〜10000rpm、吸着できるサンプルの最大サイズはφ100mmです。
VCTC の-200P真空スピンコーターはPP製で、強酸および強アルカリコーティング溶液のコーティングフィルム製造に使用できます。サンプルは真空チャック吸着によって固定されます。この装置は12セットのプログラムを保存でき、各プログラムには6つの実行ステージが含まれています。各ステージの速度増加および減少率の設定範囲：100〜2000rpm / s、各ステージの時間範囲：0〜60秒。装置の回転速度は各操作ステージで異なり、限界速度までゆっくりと上昇します。これにより、サンプル表面のフィルムの均一性が促進され、コーティング材料が節約されます。チャンバーの上部カバーには、オプションで加熱機能を装備できます。これは、高粘度のフィルム材料のコーティングプロセスに有利です。速度範囲：500〜6000rpm、吸着できるサンプルの最大サイズはφ200mmです。
VCTC の-200PV真空スピンコーターは、強酸および強アルカリコーティング溶液のコーティングフィルム調製に使用できます。この装置はチャンバーを真空にできるため、サンプルを完全な真空状態でコーティングできます。空気中で酸化および劣化しやすい材料に適しています。この装置は12グループのプログラムを保存でき、各プログラムグループには6つの実行ステージが含まれています。各ステージの速度増加および減少率の設定範囲：100〜2000 回転数 / s、各ステージの時間範囲：0〜60秒。装置の回転速度は各操作ステージで異なり、限界速度までゆっくりと上昇します。これにより、サンプル表面のフィルムの均一性が促進され、コーティング材料が節約されます。速度範囲：500〜6000rpm、吸着できるサンプルの最大サイズはφ200mmです。
対応するスピンコーターもお客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能です。
参考文献:
[1] 石東禄、周武宗、梁維堯、編集長、高温超伝導応用研究、上海科学技術出版社、2008年10月、p.266