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球状パルスレーザー蒸着システム
このシステムは、球状パルスレーザー蒸着システム（ＰＬＤ）の研究開発装置です。パルスレーザー蒸着技術は広く使用されており、金属、半導体、酸化物、窒化物、炭化物、ホウ化物、ケイ化物、硫化物、フッ化物など、さまざまな物質の薄膜を作成するために使用できます。ダイヤモンドや立方晶窒化物膜など、合成が難しい材料膜の作成にも使用されます。
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このシステムは、球状パルスレーザー蒸着システム（ＰＬＤ）の研究開発装置です。パルスレーザー蒸着技術は広く使用されており、金属、半導体、酸化物、窒化物、炭化物、ホウ化物、ケイ化物、硫化物、フッ化物など、さまざまな物質の薄膜を作成するために使用できます。ダイヤモンドや立方晶窒化物膜など、合成が難しい材料膜の作成にも使用されます。
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