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真空チャック
1. 回転 真空 チャック は a 精密 真空 装置 固定 薄板 シート サンプル 用。 2.貫通 穴 上 回転 真空 チャック, 空気 内部 アン 密閉 空間 は 抽出 または 薄化。 3. 圧力 差 絞り サンプル と ウェーハ 真空 チャック しっかりと 一緒に 吸着 そして 固定 サンプル。
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1. 回転 真空 チャック は a 精密 真空 装置 固定 薄板 シート サンプル 用。 2.貫通 穴 上 回転 真空 チャック, 空気 内部 アン 密閉 空間 は 抽出 または 薄化。 3. 圧力 差 絞り サンプル と ウェーハ 真空 チャック しっかりと 一緒に 吸着 そして 固定 サンプル。
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