• 化学機械研磨機

    化学機械研磨機

    ユニポール-1203化学機械研削研磨機は、CMP平坦化および平滑化技術に適しています。機械全体の研削部分は耐腐食性材料で作られており、化学腐食に耐性があり、自動スラリーフィーダーと精密ラッピングコントローラー、自動タッチスクリーンパネルが装備されています。処理性能と速度の両方の面で、ウェーハなどのさまざまな表面を処理するニーズを同時に満たすことができます。

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