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直径100mmサンプル用精密研磨治具
GPC-100A 精密研削および研磨コントローラ (略してラッピング コントローラ) は、主にサンプル表面の平坦度と平行度を制御し、研磨されたサンプルに高い寸法精度と優れた表面状態を持たせるために使用します。主に ユニポール-1202 および ユニポール-1502 研削および研磨機での使用に適しています。
- Shenyang Kejing
- 瀋陽、中国
- 10営業日
- 50セット
- 情報
製品紹介
GPC-100A精密研削研磨コントローラ(以下、研削研磨コントローラ)は、主に当社のUNIPOLシリーズ精密研削研磨機に搭載されています。本コントローラは、研磨対象ワークの表面の平坦度と平行度を制御し、研削研磨後の高い寸法精度と優れた表面品質を確保するように設計されています。
このシリーズの精密研削・研磨コントローラーは、高品質のステンレス鋼で作られています。底部の耐摩耗プレートには12個の耐摩耗要素が均等に配置されており、耐摩耗プレートは加工中に摩耗しない構造になっています。圧力調整ナットとフローティングシャフトの間には圧力スプリングが取り付けられており、スプリングの圧縮量を調整することで下向きの圧力を精密に制御できます。ワークピースは真空吸引方式で固定され、デジタル厚さ計(デジタルマイクロメーター)が装備されているため、材料の薄化パラメータをリアルタイムで監視できます。耐荷重は、ワークピースの直径最大4インチ、厚さ≤12mmです。
この製品は、高いプロセス再現性と優れた互換性を備えています。動作中、研磨対象ワークの表面は常に耐摩耗性部材と平行に保たれ、平行度を正確に制御しながら平坦性を確保します。材質や平坦度が異なるワークの同期研削・研磨をサポートし、正確な厚さ制御を実現します。特に、ウェーハや地質学的薄片などの精密ワークに適しています。
主な特徴
試料表面の平行度と平坦度は、高い制御精度により厳密に制御できます。研削工程中は、デジタル厚さ計と併用することで、試料の厚さ減少をいつでも確認できます。特に、表面の平行度、平坦度、厚さに対する要求が高いウェーハ試料の研削に適しています。
技術的パラメータ
製品名 | GPC-100A 精密研削・研磨コントローラ | |
製品モデル | GPC-100A | |
インストール要件 | 1. 温度および湿度: 10~85% RH (25℃で結露なし)、温度: 5~45℃。 2. 機器の周囲には強い振動や腐食性ガスがない状態にしてください。 3. 給水: 敷地内に清潔な水源を確保する必要があります。 4. 空気供給:最大真空度 -700 mmHg (-91 kPa)、最大空気流量 7.2 m³/h の真空ポンプ。 5. 換気: 換気のよい環境が必要です。特別な換気装置は必要ありません。 | |
主なパラメータ (仕様) | 1. サンプルホルダー直径: Ø103 んん 2. サンプルホルダーの軸方向移動量: ≥12 んん 3. サンプルホルダーの調整可能な荷重圧力:0.1~2.0 kg 4. 圧力計の有効範囲:1~5000g 5. 厚さ測定器(デジタルマイクロメータ):分解能0.001 んん、範囲0~12.7 んん(最大) 6. サンプルの取り付け方法:真空吸着 7. 対応サンプルサイズ:直径4インチ、厚さ≤12mm | |
製品寸法 | 寸法:外径:146mm、高さ:266mm 重量:約7kg | |
補助機器 | 1. AP-1400V オイルフリー真空ポンプ 2. SCA-301 圧力計(電子スケール) 3. 500mlポリプロピレンフィルターボトル(底部とゴム栓付き) 4. 厚さ測定器(デジタルマイクロメーター 0~12.7 んん、分解能 0.001 んん) 5. サンプルガラススライド 6. ヒータ-250/3040シリーズ ヒーティングプラットフォーム(オプション購入) |
保証
· 1 年間限定の永久サポート(不適切な保管条件による錆びた部品は除く)
ロジスティクス