4つの加熱源を備えた真空熱蒸着コーター

製品紹介

一般用医薬品-1800X-ZF4蒸着コーターは、酸素に敏感な金属膜（ティ、アル、Auなど）および低分子有機材料の蒸着用に特別に設計された高真空蒸着コーティングシステムです。本システムは4つの独立した加熱式蒸着ボートを備えており、それぞれが個別に動作可能です。各ボート上部の回転式シールドは、蒸着中に他の3つのボートを保護し、材料間のクロスコンタミネーションを効果的に防止します。オプションの構成調整により有機材料の蒸着も可能となり、発光デバイスや有機太陽電池の研究ニーズを満たします。これにより、高性能で費用対効果の高い実験室用コーティングシステムとなっています。

チャンバー底部には5つの水冷電極が備えられており、動作中の電極温度を維持し、過熱、溶融、損傷を防止します。本装置は、最大5.0×10の真空度に達することができる金属製真空チャンバーを採用しています。^-7 サンプルステージは室温から500℃まで加熱されるため、高真空蒸着コーティング実験に最適です。

主な特徴

1. 真空制御ユニットはすべて 1 つの制御ボックスに組み立てられています。

2.独立した蒸発コーティング電流コントローラを採用しており、操作が便利で迅速です。

3. 真空チャンバーには、KF40サイドポンピングバルブ（効率向上のため前段機械ポンプに直接接続）1個、CF150ゲートバルブ（分子ポンプに直接接続）1個、KF16フランジ（抵抗計取付用）1個、CF35フランジ（イオン化ゲージ取付用1個、2芯電極取付用1個、膜厚計取付用1個）6個、予備3個が装備されています。

4. チャンバーの底には 5 つの水冷電極があり、4 つの蒸発加熱ボートをサポートできます。

5.サンプルステージをチャンバー上部に設置します。

6.チャンバー内に高解像度の膜厚計を設置でき、膜厚測定（アルミニウム）の分解能は0.1Åです。

7. 循環水冷却装置を使用することができます。

技術的パラメータ

保証

    1 年間限定の永久サポート（不適切な保管条件による錆びた部品は除く）

ロジスティクス