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3 つのスパッタ源とグローブ ボックスを備えたプラズマ スパッタリング コーター
ベトナム-600-3HD 薄膜電池作製システムは、グローブボックス内で実験操作を行うことができ、単層または多層の強誘電体膜、導電膜、合金膜、半導体膜、セラミック膜、誘電体膜、光学膜、酸化膜、硬質膜、PTFE 膜などの作製に使用されます。このシステムには、さまざまなターゲット材料のスパッタコーティング用に 3 つのターゲットガンと 1 つの 無線周波数 電源が装備されています。無線周波数 電源は、転送スイッチによって任意のターゲットヘッドに接続できます。
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