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超音波スピンスプレーコーター（300～3000 回転数、最大12インチウェーハ）
VCTC の-300USS 超音波スピンスプレーコーター/接着剤スプレーは、溶液の化学量論比、ミスト粒子のスプレー速度、ミスト粒子のサイズ、その他のパラメータを正確に制御できます。吸収性基板 (VCTC の-300USS 超音波スピンスプレーコーター/接着剤スプレー) の直径は最大 12 インチ (300 んん) です。
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ヒーターとヒュームフードを備えた超音波スピンスプレーコーター
VCTC の-300BUSS 超音波スピンスプレーコーターは、超音波霧化、液体注入、スピンコーティング機能を組み合わせたボックス構造のオールインワンフィルム準備装置です。吸収性基板 (VCTC の-300BUSS 超音波スピンスプレーコーター/接着剤スプレー) の直径は最大 12 インチ (300 んん) です。
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