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超音波スピンスプレーコーター(300~3000 回転数、最大12インチウェーハ)
VCTC の-300USS 超音波スピンスプレーコーター/接着剤スプレーは、溶液の化学量論比、ミスト粒子のスプレー速度、ミスト粒子のサイズ、その他のパラメータを正確に制御できます。吸収性基板 (VCTC の-300USS 超音波スピンスプレーコーター/接着剤スプレー) の直径は最大 12 インチ (300 んん) です。
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ヒーターとヒュームフードを備えた超音波スピンスプレーコーター
VCTC の-300BUSS 超音波スピンスプレーコーターは、超音波霧化、液体注入、スピンコーティング機能を組み合わせたボックス構造のオールインワンフィルム準備装置です。吸収性基板 (VCTC の-300BUSS 超音波スピンスプレーコーター/接着剤スプレー) の直径は最大 12 インチ (300 んん) です。
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超音波スプレー熱分解コーター
MSK-特徴-04C 超音波スプレー熱分解コーター/接着剤スプレーは、ステッピングモーターとマイクロプロセッサーを使用して容積式ポンプを制御し、注入セットを介した溶液の正確な伝送と超音波スプレープロセスの継続性を保証します。超音波アトマイザーを使用して薄いマイクロナノコーティングを準備し、ステッピングモーターを使用してアトマイザーを制御して X 軸と Y 軸方向に移動し、移動速度を一定の範囲内で調整して、基板表面のコーティングの均一性を確保します。
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タッチスクリーン付きシリンジポンプ
イコライザー-300SP-I シングルチャネルシリンジポンプは、ステッピングモーターとそのドライバー、スクリューロッドとブラケット、および往復スクリューとナットで構成されています。ナットはシリンジのピストンに接続され、溶液はシリンジ内に保持されるため、高精度でスムーズで脈動のない液体伝送を実現できます。主に超音波霧化スプレーとエレクトロスピニングシステムの溶液供給に使用されます。
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