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マグネトロンスパッタリングコーター
1. 真空マグネトロンスパッタリングコーティング機は、大容量のスパッタリング真空チャンバーと、電界内のガスイオン化特性に応じた対応面積のスパッタリングターゲットを使用して、スパッタリングコーティングをより均一かつ純粋にすることができます。 2. 真空マグネトロンスパッタリングコーティング機のスパッタリングヘッドは、ペルチェ冷却技術を採用しており、高性能の微粒子コーティングを実現します。 3. 真空マグネトロンスパッタリングコーティング装置は、水冷式スパッタリングヘッドと水冷式ステージを使用することができます。
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