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マグネトロンスパッタリングコーター

ブランド Shenyang Kejing

製品の産地 遼寧省瀋陽市

納入時間 10営業日

供給能力 50セット

1. 真空マグネトロンスパッタリングコーティング機は、大容量のスパッタリング真空チャンバーと、電界内のガスイオン化特性に応じた対応面積のスパッタリングターゲットを使用して、スパッタリングコーティングをより均一かつ純粋にすることができます。
2. 真空マグネトロンスパッタリングコーティング機のスパッタリングヘッドは、ペルチェ冷却技術を採用しており、高性能の微粒子コーティングを実現します。
3. 真空マグネトロンスパッタリングコーティング装置は、水冷式スパッタリングヘッドと水冷式ステージを使用することができます。

マグネトロンスパッタリングコーター

水冷装置付きマグネトロンスパッタコーティング装置のご紹介:

グルコース-1100X-特別目的会社-16Mマグネトロンスパッタコーティングマシン(水冷装置付き)は、真空環境でターゲットに粒子を衝突させることで発生するスパッタリング効果を利用して、ターゲットの原子または分子を固体表面から放出し、基板に堆積させて薄膜を形成します。これは、物理蒸着(PVD)薄膜製造技術の一種です。設計されたシンプルで信頼性が高く、経済的なコーティング装置は、実験室でのさまざまな複合フィルムサンプルの作成や、非導電性材料の実験用電極の製造に適しています。水冷装置付きマグネトロンスパッタコーティングマシンは、実験室で走査型電子顕微鏡サンプルを作成するために使用でき、水冷装置付きマグネトロンスパッタコーティングマシンは小型で、実験室のスペースを節約します。操作が簡単で、初心者に適しています。
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine


PVD スパッタコーターの利点:

1. PVD スパッタコーターには真空計とスパッタリング電流計が装備されており、動作状態をリアルタイムで監視できます。

2. PVD ​​スパッタコーターは、スパッタリング電流コントローラとマイクロ真空エアバルブを調整することで、真空チャンバーの圧力、イオン化電流を制御し、必要なイオン化ガスを選択して、最良のコーティング効果を得ることができます。

3. PVD ​​スパッタコーターのベルジャーの端にあるゴム製シールリングは、長期使用中にガラス製ベルジャーが崩壊しないように特別な設計を採用しています。

4. PVD ​​スパッタコーターで使用されるセラミックシール高電圧電極コネクタは、通常のゴムシールよりも耐久性に優れています。


PVDスパッタコーターの技術的パラメータ:

製品名

グルコース-1100X-特別目的会社-16M PVD スパッタコーター

製品モデル

グルコース-1100X-特別目的会社-16M

設置条件

この機器は、高度1000m未満、温度25℃±15℃、湿度55%右±10%Rhの範囲内で使用する必要があります。

1. 水: 装置には、自己循環冷却水装置(純水または脱イオン水で満たされている)を装備する必要があります。

2. 電気: AC220V 50Hz、しっかりと接地する必要があります。

3. ガス:装置室内にアルゴン(純度99.99%以上)を充填する必要があり、アルゴンガスボンベ(減圧弁付き)を用意する必要があります。

4.作業台:サイズ600mm×600mm×700mm、耐荷重50kg以上。

5. 換気装置:不要。

主なパラメータ

1.ターゲット:Ø50mm。

2.真空チャンバー:Ø160mm×120mm。

3.真空度:≤4×10-2mbar。

4. 最大電流: 50mA (オプションで 100mA)。

5. 設定可能な制限時間: 9999秒。

6. マイクロ真空エアバルブ:Ø3mmホースに接続します。

7. 制限電圧:1600V 直流。

8. 機械式ポンプ:2L/s。

9. 対象物質:

サイズ要件:φ50mm×(0.1-0.5)んん(厚さ)。

オー、農業、Cuなどの金属のスパッタリングに適しています(当社で入手可能)。

10. 製品仕様:

サイズ:360mm×300mm×380mm。

重さ:

総重量:50Kg。

本体重量:15Kg。
Magnetron Sputter Coating Machines with Water Chiller



PVDスパッタコーターの標準付属品:

いいえ。名前数量写真
1金スパッタリングターゲット1個--
2入口ニードルバルブ1個--
3ヒューズ2個--


PVDスパッタコーターのオプションアクセサリ:

いいえ。名前関数写真
1金、インジウム、銀、プラチナ等の各種スパッタリングターゲット。(オプション)--


私たちについて:

当社は製品の品​​質に高い基準を設けているだけでなく、物流や梱包にも細部にまで気を配っています。精密機器の輸送プロセスは極めて重要で、一度破損すると、お客様の正常な生産に影響を及ぼします。当社の梱包チームは厳しい訓練を受け、精密機器の梱包技術を習得しています。このため、当社は完全な物流システムを確立し、世界的に有名な物流会社と協力して、お客様が短時間で製品を受け取れるようにしています。

Pvd Sputter Coater

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