シングルヘッド高真空マグネトロンプラズマスパッタリングコータ

製品モデル

VTC -600-1HD

設置条件

本装置は標高1000m以下、温度25℃±15℃、湿度55%Rh ±10%Rhの環境で使用してください。

1. 水：装置には自己循環水冷却器が装備されています（純水または脱イオン水で満たされます）。

2. 電気: AC220V 50Hz、適切な接地が必要です。

3. ガス：装置室内にアルゴンガス（純度99.99％以上）を充填する必要があり、アルゴンガスボンベ（Ø6mm二枚ヘルール継手付き）、減圧弁はお客様にてご用意ください。

4. 作業台：サイズ1500mm×600mm×700mm、耐荷重200kg以上

5. 換気装置: 必要

主要パラメータ

（仕様）

1.電源電圧：220V 50Hz

2. 電力: &それ ;1KW (真空ポンプを含まない)

3. チャンバーの内径:&注意 ;Ø300mm

4. 限界真空度：9.0×10-4Pa

5. サンプルステージの加熱温度：RT -500℃、精度±1℃（実際のニーズに応じて温度を上げることができます。）

6. ターゲットガンの数: 1 個 (その他の数量はオプション)

7.ターゲットガンの冷却方式：水冷

8. ターゲット材料のサイズ: Ø2インチ、厚さ0.1～5mm (ターゲット材料が異なるため厚さが異なります)

9. DCスパッタリング電力: 500W; RFスパッタリング電力：300W（ターゲット電源の種類はオプション：DC電源1台またはRF電源1台）

10. サンプルステージ：Ø140mm、お客様のご要望に応じてオプションのバイアス電圧機能を搭載し、より高品質なコーティングを実現します。

11. サンプルステージの速度: 1rpm-20rpm 内で調整可能

12. 作動ガス：Arおよびその他の不活性ガス

13. 吸気経路: マスフローメータは 2 つの吸気経路を制御します。1 つは 100SCCM、もう 1 つは 200SCCM です。

製品の寸法と重量

1.本体寸法：500mm×560mm×660mm

2. 外形寸法：1300mm×660mm×1200mm

3. 体重：160kg

4. 真空チャンバー寸法：φ300×300mm

標準付属品

1. DC電源制御システム：1式（オプション）

2.RF電力制御システム：1セット（オプション）

3.ウォータークーラー: 1個

4.ポリエステルPUパイプ(Ø6mm)：4m

オプションのアクセサリ

1. 金、インジウム、銀、プラチナ等の各種ターゲット材料

2. 膜厚モニターシステム

3. 分子ポンプ（ドイツから輸入）