高真空マグネトロンプラズマスパッタリングコーター

デュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターのご紹介

VTC-600-2HD-1000デュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターは、当社が新たに開発した高真空コーティング装置です。単層または多層の強誘電体膜、導電膜、合金膜、半導体膜、セラミック膜、誘電体膜、光学膜、酸化膜、硬質膜、ポリテトラフルオロエチレン膜などを作製するために使用できます。デュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターには、2つのターゲットガンと2つの電源が装備されており、1つのRF電源は非導電性材料のスパッタリングコーティングに使用され、もう1つのDC電源は導電性材料のスパッタリングコーティングに使用されます。デュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターは、強磁性材料のスパッタリングコーティング用の強力な磁性ターゲットを装備できます。同様の装置と比較して、デュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターは、小型で操作が簡単で、使用できる材料の範囲が広いなどの利点があります。実験室でさまざまな材料のフィルムを作製するための理想的な装置です。

デュアルヘッドマグネトロンプラズマスパッタリングコーターの利点：

1. デュアルヘッドマグネトロンプラズマスパッタリングコーターには、非導電性ターゲット材料のスパッタリングコーティング用の 無線周波数 電源を備えたターゲットガンと、導電性材料のスパッタリングコーティング用の DC 電源を備えたターゲットガンの 2 つが装備されています。

2. デュアルヘッドマグネトロンプラズマスパッタリングコーターは、さまざまな薄膜を作製でき、幅広い用途に使用できます。

3. デュアルヘッドマグネトロンプラズマスパッタリングコーターは小型で操作が非常に簡単です。

デュアルターゲットマグネトロンスパッタリングコーターの技術的パラメータ：

私たちについて：

製品が工場を出荷する前に、当社のスタッフが徹底的なテストを実施し、製品の精度と安定性を確保します。また、専門のアフターサービスチームも設置しています。製品についてご質問がございましたら、当社のチームが迅速に対応いたしますので、お客様の機器が長期にわたって安定して稼働し続けることができます。