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高真空マグネトロンプラズマスパッタリングコーター

1.デュアルターゲットマグネトロンスパッタリングコーターの入力電力は220V / 50Hzで、キャビティの内径はØ300mmです。
2.デュアルターゲットマグネトロンスパッタリングコーターのターゲットガン冷却方法は水冷を採用しています。
3. デュアルターゲットマグネトロンスパッタリングコーターのガス充填システムは、2ウェイマスフローメーター(1ウェイアルゴン100scc、2ウェイアルゴン200scc)を使用しています。特殊ガスをカスタマイズできます。

  • Shenyang Kejing
  • 瀋陽、中国
  • 10営業日
  • 50セット
  • 情報

デュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターの紹介:

VCTC の-600-2HD-1000デュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターは、当社が新たに開発した高真空コーティング装置です。単層または多層の強誘電体フィルム、導電性フィルム、合金フィルム、半導体フィルム、セラミックフィルム、誘電体フィルム、光学フィルム、酸化膜、硬質フィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルムなどを作製するために使用できます。デュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターには、2つのターゲットガンと2つの電源が装備されており、1つのRF電源は非導電性材料のスパッタリングコーティングに使用され、1つのDC電源は導電性材料のスパッタリングコーティングに使用されます。デュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターには、強磁性材料のスパッタリングコーティング用の強力な磁性ターゲットを装備できます。同様の装置と比較して、デュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターは、小型で操作が簡単で、使用できる材料の範囲が広いという利点があります。実験室でさまざまな材料のフィルムを作製するための理想的な装置です。

Dual head magnetron sputtering coater

デュアルヘッドマグネトロンプラズマスパッタリングコーターの利点:

1. デュアルヘッドマグネトロンプラズマスパッタリングコーターには、2 つのターゲットガンが装備されています。1 つは非導電性ターゲット材料のスパッタリングコーティング用の 無線周波数 電源を備え、もう 1 つは導電性材料のスパッタリングコーティング用の 直流 電源を備えています。

2. デュアルヘッドマグネトロンプラズマスパッタリングコーターは、さまざまな薄膜を作製でき、幅広い用途に使用できます。

3. デュアルヘッドマグネトロンプラズマスパッタリングコーターは小型で操作が非常に簡単です。


デュアルターゲットマグネトロンスパッタリングコーターの技術的パラメータ:

製品名

VCTC の-600-2HD-1000 デュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーター

製品モデルVCTC の-600-2HD-1000
設置条件

この装置は、温度25℃±15℃、湿度55%右±10%Rhで使用する必要があります。

1.水:装置には自己循環冷却水機(純水または脱イオン水で満たされている)が装備されています。

2. 電気: AC220V 50Hz、しっかりと接地する必要があります。

3. ガス: 装置チャンバーにはアルゴン (純度 99.99% 以上) を充填する必要があります。また、アルゴンガスボンベ (Ø6mm ダブルフェルールコネクタ付き) と減圧弁をお客様ご自身で用意する必要があります。

4.作業台:サイズ1500mm×600mm×700mm、耐荷重200kg以上。

5. 換気装置:必須。

主なパラメータ

1.入力電源:220V/50Hz。

2. スパッタリングターゲットの数:2。

3.チャンバー内径:Ø300mm。

4.ターゲットガンの冷却方法:水冷。

5. 到達真空度:9.0x10-4Pa。

6.真空チャンバー仕様:Φ300×330mm。

7. 真空システム:VRD-16機械式ポンプ、FF-100/150ターボ分子ポンプ。

8. 真空を復元する: システムを大気から 5.0E-3pa≤30 分まで排気します (システムは短時間大気にさらされます)。

9. 膨張システム:双方向質量流量計(片方向アルゴン100scc、双方向アルゴン200scc)特殊ガスをカスタマイズできます。

10. スパッタリングターゲットの仕様:Φ2"、厚さ0.1〜5mm(ターゲット材料の違いにより厚さは異なります)。

11.サンプルステージ:Φ140mm/回転可能(1~20rpm)/加熱可能(室温~1000℃)。

製品仕様本体サイズ:幅900mm×奥行650mm×高さ1100mm


私たちについて:

製品が工場を出荷する前に、当社のスタッフが包括的なテストを実施し、製品の精度と安定性を確保します。同時に、プロのアフターサービスチームもいます。製品についてご質問がある場合は、当社のチームがすぐに回答し、機器が長期間安定して稼働できるようにします。

Dual head magnetron plasma sputtering coater


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