3つのスパッタ源を備えたプラズマスパッタリングコーター

VCTC の-600-3HD 3ヘッドマグネトロンスパッタリングコーターは、当社が新たに開発したコーティング装置であり、単層または多層の強誘電体膜、導電膜、合金膜、半導体膜、セラミック膜、誘電体膜、光学膜、酸化膜、硬質膜、PTFE膜などを作成するために使用されます。 VCTC の-600-3HD 3ヘッドマグネトロンスパッタリングコーターには、3つのターゲットガン、非導電性材料のスパッタコーティング用の1つのRF電源、および導電性材料のスパッタコーティング用の2つのDC電源が装備されています。

ブランド: Shenyang Kejing
製品の産地: 瀋陽、中国
納入時間: 22営業日
供給能力: 50セット

情報

主な特徴

1. 3 つのターゲットガンを搭載しており、1 つの無線周波数電源は非導電性材料のスパッタコーティングに使用され、2 つの直流電源は導電性材料のスパッタコーティングに使用されます (ターゲットガンは顧客のニーズに応じて交換可能です)。

2. 幅広い用途に対応した多種多様な薄膜を作製できます。

3. 小型で操作が簡単

4. 機械全体のモジュール設計。真空チャンバー、真空ポンプグループ、制御電源の個別/分割型設計。ユーザーの実際のニーズに応じて調整できます。

5. 電源は、ユーザーの実際のニーズに応じて選択できます。1 つの電源で複数のターゲットガンを制御することも、複数の電源で 1 つのターゲットガンを制御することもできます。

T技術的パラメータ

商品名	VCTC の-600-3HD 3ヘッドマグネトロンスパッタリングコーター
製品モデル	VCTC の-600-3HD
設置条件	この装置は、標高1000m以下、温度25℃±15℃、湿度55%右±10%Rhの範囲内で使用する必要があります。 1. 水: 装置には自己循環式水冷却装置（純水または脱イオン水で満たされる）が装備されています。 2. 電気: AC220V 50Hz、良好な接地が必要 3. ガス：装置室内にアルゴンガス（純度99.99％以上）を充填する必要があり、アルゴンガスボンベ（Ø6mmダブルフェルールジョイント付き）および減圧弁はユーザーが用意する必要があります。 4. 作業台：サイズ1500mm×600mm×700mm、耐荷重200kg以上 5. 換気装置：必要
主なパラメータ（仕様）	1.電源電圧：220V 50Hz 2. 電力: ＜2.5kW 3. 真空度の限界：E-6mbar（弊社装置使用時はE-5mbarまで到達可能） 4.加熱温度：RT-500℃、精度±1℃（実際のニーズに応じて温度を上げることができます。） 5. 標的銃の数：3個 6. ターゲットガンの冷却方法：水冷 7. ターゲット材料のサイズ：Ø2″、厚さ0.1～5mm（ターゲット材料によって厚さは異なります） 8. DCスパッタリング電力：500W（オプション） 9. RFスパッタリング電力：300W/500W（オプション） 10. サンプルステージ：Ø140mm、オプションのバイアス電圧機能は、お客様の要件に応じてインストールでき、より高品質のコーティングを実現します。 11. サンプルステージの速度: 1rpm～20rpmの範囲で調整可能 12.作動ガス: アル、N₂およびその他の不活性ガス 13. 吸気経路：質量流量計は 2 つの吸気経路を制御します。1 つは 100SCCM、もう 1 つは 200SCCM です。
製品の寸法と重量	本体寸法：500mm×560mm×660mm 外形寸法：1300mm×660mm×1200mm 体重: 160kg
標準付属品	1. DC電源制御システム：2セット 2. RF電力制御システム：1セット 3. 膜厚モニターシステム：1セット 4. 分子ポンプ（ドイツから輸入）：1個 5. ウォータークーラー：1個 6.ポリエステルPUパイプ（Ø6mm）：4m
オプションのアクセサリ	1. 金、インジウム、銀、プラチナなど様々なターゲット材料。 2. マスク 3. 振動サンプルステージ