• シングルヘッド高真空マグネトロンプラズマスパッタリングコーター

    シングルヘッド高真空マグネトロンプラズマスパッタリングコーター

    VCTC の-600-1HD シングルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターは、当社が新たに開発した高真空コーティング装置であり、単層または多層の強誘電体膜、導電膜、合金膜、半導体膜、セラミック膜、誘電体膜、光学膜、酸化膜、硬質膜、PTFE 膜などを作成するために使用されます。 VCTC の-600-1HD シングルヘッド マグネトロン スパッタリング コーターには 1 つのターゲット ガンが装備されており、強磁性ターゲットまたは弱磁性ターゲットを選択できます。

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  • デュアルヘッド高真空マグネトロンプラズマスパッタリングコーター

    デュアルヘッド高真空マグネトロンプラズマスパッタリングコーター

    VCTC の-600-2HDデュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターは、当社が新たに開発した高真空コーティング装置であり、単層または多層の強誘電体膜、導電膜、合金膜、半導体膜、セラミック膜、誘電体膜、光学膜、酸化膜、硬質膜、PTFE膜などを作成するために使用されます。 VCTC の-600-2HDデュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターには、2つのターゲットガンと2つの電源が装備されており、1つは非導電性材料のスパッタコーティング用のRF電源、もう1つは導電性材料のスパッタコーティング用のDC電源です。

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  • 3つのスパッタ源を備えたプラズマスパッタリングコーター

    3つのスパッタ源を備えたプラズマスパッタリングコーター

    VCTC の-600-3HD 3ヘッドマグネトロンスパッタリングコーターは、当社が新たに開発したコーティング装置であり、単層または多層の強誘電体膜、導電膜、合金膜、半導体膜、セラミック膜、誘電体膜、光学膜、酸化膜、硬質膜、PTFE膜などを作成するために使用されます。 VCTC の-600-3HD 3ヘッドマグネトロンスパッタリングコーターには、3つのターゲットガン、非導電性材料のスパッタコーティング用の1つのRF電源、および導電性材料のスパッタコーティング用の2つのDC電源が装備されています。

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